Duoplasmatron (original) (raw)
Das Duoplasmatron ist ein Gerät zur Erzeugung leistungsstarker Ionenströme. Es wurde 1948 in der Sowjetunion von Manfred von Ardenne erfunden und bis 1956 in der DDR zur Patentreife weiterentwickelt.
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| dbo:abstract | Das Duoplasmatron ist ein Gerät zur Erzeugung leistungsstarker Ionenströme. Es wurde 1948 in der Sowjetunion von Manfred von Ardenne erfunden und bis 1956 in der DDR zur Patentreife weiterentwickelt. (de) The Duoplasmatron is an ion source in which a cathode filament emits electrons into a vacuum chamber. A gas such as argon is introduced in very small quantities into the chamber, where it becomes charged or ionized through interactions with the free electrons from the cathode, forming a plasma. The plasma is then accelerated through a series of at least two highly charged grids, and becomes an ion beam, moving at a fairly high speed from the aperture of the device. (en) I duoplasmatron sono cannoni ionici inventati da Manfred von Ardenne. L'emissività elettronica è basata sul catodo a filamento caldo che per effetto Edison emette elettroni all'interno della camera di ionizzazione della testa ionica in modo simile a quanto avviene nelle comuni lampadine a incandescenza. Un gas nobile, di solito Argon, è introdotto in quantità di pochi SCCM nella camera e viene ionizzato grazie all'interazione dei suoi atomi con gli elettroni emessi dal filamento formando una nube di plasma.Il plasma passa nella camera di accelerazione e viene accelerato dal campo elettrico formato fra griglie di grafite ed emesso dall'apertura della testa ionica ad alta velocità, formando un fascio ionico dal caratteristico colore viola azzurro. I cannoni duoplasmatron vengono impiegati in vari processi per la deposizione di semiconduttori, metalli ed isolanti in una variante che viene comunemente chiamata sputtering e per la propulsione di sonde spaziali. Vengono anche impiegati come sorgente del fascio primario nella spettrometria di massa di ioni secondari. (it) Duoplasmatron, uma invenção de Manfred von Ardenne, é um tipo de fonte de feixe de íons. O duoplasmatron opera da seguinte forma: um cátodo emite elétrons dentro de uma câmara de vácuo. Um gás inerte, como o argônio, é introduzido em quantidades mínimas dentro da câmara, onde se torna eletricamente carregado (ou ionizado) com as interações com os elétrons livres do cátodo, dando origem a um plasma. O plasma é acelerado então com uma série pelo menos de duas grades altamente carregadas, e transforma-se um feixe de íons, movendo-se em alta velocidade na saída do dispositivo. (pt) |
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