Electron microprobe (original) (raw)
La microsonda d'electrons, microsonda electrònica o microsonda de Castaing (en anglès: electron probe microanalyser, EPMA) és una microsonda utilitzada com a mètode d'anàlisi dels elements químics inventada l'any 1951 per . Consisteix a bombardejar una mostra amb electrons i analitzar l' dels raigs X emesos per la mostra davant aquest bombardeix d'electrons. La conceentració dels elements des del bor al plutoni es pot mesurar a nivells tan baixos com 100 parts per milió (ppm). Millores recents permeten arribar a nivells d'uns 10 ppm.
| Property | Value |
|---|---|
| dbo:abstract | La microsonda d'electrons, microsonda electrònica o microsonda de Castaing (en anglès: electron probe microanalyser, EPMA) és una microsonda utilitzada com a mètode d'anàlisi dels elements químics inventada l'any 1951 per . Consisteix a bombardejar una mostra amb electrons i analitzar l' dels raigs X emesos per la mostra davant aquest bombardeix d'electrons. La conceentració dels elements des del bor al plutoni es pot mesurar a nivells tan baixos com 100 parts per milió (ppm). Millores recents permeten arribar a nivells d'uns 10 ppm. (ca) Die Elektronenstrahlmikroanalyse (ESMA; engl. electron probe micro analysis, EPMA, oder X-ray microanalysis) dient primär der zerstörungsfreien Analyse von Festkörperoberflächen mit lateraler Auflösung bis zu 1 µm. (de) An electron microprobe (EMP), also known as an electron probe microanalyzer (EPMA) or electron micro probe analyzer (EMPA), is an analytical tool used to non-destructively determine the chemical composition of small volumes of solid materials. It works similarly to a scanning electron microscope: the sample is bombarded with an electron beam, emitting x-rays at wavelengths characteristic to the elements being analyzed. This enables the abundances of elements present within small sample volumes (typically 10-30 cubic micrometers or less) to be determined, when a conventional accelerating voltage of 15-20 kV is used. The concentrations of elements from lithium to plutonium may be measured at levels as low as 100 parts per million (ppm), material dependent, although with care, levels below 10 ppm are possible. The ability to quantify lithium by EPMA became a reality in 2008. (en) La microsonde de Castaing (en anglais electron probe microanalyser, EPMA) est une méthode d'analyse élémentaire inventée en 1951 par Raimond Castaing. Elle consiste à bombarder un échantillon avec des électrons et à analyser le spectre des rayons X émis par l'échantillon sous cette sollicitation. (fr) Una microsonda elettronica, in inglese conosciuta come electron microprobe (EMP) o electron probe microanalyzer (EPMA) o ancora electron micro probe analyzer (EMPA) è uno strumento utilizzato per stabilire la composizione chimica di una piccola quantità di una sostanza solida in maniera non distruttiva. Il suo funzionamento è analogo a quello di un microscopio elettronico a scansione: il campione è bombardato con un fascio di elettroni e questo emette raggi X ad una lunghezza d'onda caratteristica dell'elemento analizzato. Questo permette di determinare l'abbondanza degli elementi presenti in un campione di piccole dimensioni (solitamente 10-30 micrometri cubici). La microsonda elettronica permette di misurare la concentrazione degli elementi compresi fra il boro e il plutonio fino a livelli di 100 parti per milione (ppm). Ulteriori sviluppi della tecnologia (per esempio il Cameca SX100 dotato di cinque grandi cristalli PET per l'analisi di elementi in traccia) permettono di misurare concentrazioni a partire da circa 10 ppm. (it) 電子線マイクロアナライザ（でんしせんマイクロアナライザ、英: Electron Probe Micro Analyzer）または電子プローブ微小分析器、略称 EPMAとは電子線を対象物に照射する事により発生する特性X線の波長と強度から構成元素を分析する電子マイクロプローブ（EMP）装置の一つである。二次電子像や反射電子像による観察が主体の電子顕微鏡に特性X線検出器としてエネルギー分散型X線分析(EDS)を付加したもの（分析用のSEMやTEM、など）と比較して、EPMAは元素分析を主体としたものであり、特性X線検出器に波長分散型X線分析(WDS)を用いるために定量精度は良いが検出効率が悪く、より高い照射電流を必要とする。 10~30立方マイクロメータの試料があればホウ素からプルトニウムまで100(ppm)を下限とする検出感度で定量的に分析出来る。 (ja) Рентгеноспектральный микроанализ (микрорентгеноспектральный анализ, электронно-зондовый рентгеноспектральный анализ, электронно-зондовый микроанализ) — методика, позволяющая с помощью электронного микроскопа или специального электронно-зондового микроанализатора ("микрозонд") получить информацию о химическом составе образца в произвольно выбранном участке микроскопических размеров. Суть методики заключается в том, что исследуемый образец помещается в вакуумную камеру растрового или просвечивающего электронного микроскопа и облучается сфокусированным направленным пучком электронов высокой энергии. Пучок электронов (электронный зонд) взаимодействует с приповерхностным участком образца глубиной обычно менее нескольких микрон. Объем зоны взаимодействия зависит как от ускоряющего напряжения, так и от плотности материала образца и для массивной мишени находится в диапазоне от первых десятых долей до десяти кубических микрон. Генерация рентгеновского излучения является результатом неупругого взаимодействия между электронами и образцом. Рентгеновское излучение появляется в результате двух главных процессов: эмиссии характеристического излучения и эмиссии фонового, или тормозного излучения (нем. –bremsstrahlung). Когда электрон высокой энергии взаимодействует с атомом, он может выбить один из электронов внутренней электронной оболочки. В результате атом перейдет в ионизированное, или возбужденное состояние, с вакансией в оболочке. Переход в нормальное состояние происходит, когда один из электронов внешней оболочки заполняет данную вакансию, что сопровождается изменением его энергии, а величина изменения определяется уникальной для каждого химического элемента электронной структурой атома. Эта т.н. «характеристическая» энергия может высвободиться из атома двумя способами. Один из них – эмиссия рентгеновского фотона с характеристической энергией, специфической для каждого перехода и, соответственно, для определенного элемента. Второй способ – высвобождение т.н. электронов Оже. Эмиссия фотонов рентгеновского излучения фона — тормозного излучения – проявляется, когда электрон падающего пучка испытывает торможение в электрическом поле атома. Электроны, взаимодействуя с отдельными атомами мишени, теряют разное количество энергии. Энергия таких фотонов имеет непрерывное распределение от нуля до величины ускоряющего напряжения электронного зонда, т.е. испускаемый при этом спектр имеет непрерывный характер. Максимальная энергия фотонов тормозного излучения соответствует энергии электронов пучка, полностью потерявших энергию в результате взаимодействия с полем атома. Значение этой энергии называется «пределом Дуана-Ханта». Если образец не имеет поверхностного заряда, предел Дуана-Ханта равен энергии падающего пучка. Рентгеновские фотоны обладают свойствами как частиц, так и волн, и их свойства можно охарактеризовать в терминах энергий или волн. Для рентгеноспектрального анализа можно использовать энергодисперсионный спектрометр (ЭДС), который сортирует фотоны по их энергии, либо волнодисперсионный спектрометр (ВДС), использующий принцип разделения рентгеновского излучения по длинам волн. Почти любой современный электронный микроскоп может быть оснащен рентгеновским спектрометром как дополнительной приставкой. Чаще всего растровые (РЭМ) и просвечивающие (ПЭМ) электронные микроскопы оснащаются энергодисперсионными спектрометрами, но некоторые РЭМ допускают установку одновременно двух типов спектрометров — ЭДС и ВДС. Кроме того, серийно производятся растровые электронные микроскопы, специально сконструированные для проведения рентгеноспектрального микроанализа — электронно-зондовые микроанализаторы. Электронно-оптическая колонна таких приборов позволяет получать стабильный во времени пучок электронов с энергией до 50кэВ при токах зонда до нескольких микроампер. Они, как правило, оснащены несколькими ВДС — до 5—6, а также одним ЭДС. Количественный рентгеноспектральный микроанализ Количественный рентгеноспектральный микроанализ — это относительный метод, основанный на сравнении измеренной интенсивности рентгеновских линий, генерируемых в образце с интенсивностями соответствующих линий в надлежащем стандартном образце известного состава, при известных токах зонда и идентичных прочих аналитических условиях (одинаковое ускоряющее напряжение, одинаковая геометрия установки образца и стандарта, одинаковое состояние поверхности и др.). Содержание элемента рассчитывается из отношения интенсивностей на образце и стандарте с известной концентрацией определяемого элемента в последнем. Для учёта различий в составах образца и стандарта вводится поправка на матричные эффекты. Методами рентгеноспектрального анализа можно определять концентрацию практически любых элементов от бериллия или бора до калифорния в диапазоне концентраций до сотых (ВДС) и десятых (ЭДС) долей атомных процентов. (ru) 电子微探针（英語：Electron microprobe，縮寫 EMP），也被称为电子探针显微分析（electron probe microanalyzer，EPMA）或电子微探针分析仪（electron micro probe analyzer，EMPA），是一種用於非破性檢定少量固體材料化學成分的分析工具。它是用聚焦很细、直径小于1um的电子束轰击待分析试样上的微小区域，对激发出的特征X射线、二次电子、二次离子、背散射电子、俄歇电子、透射电子、吸收电子、阴极荧光等进行探测和信息处理的现代仪器分析方法，是电子光学技术与X射线光谱分析技术交汇的产物。 (zh) |
| dbo:thumbnail | wiki-commons:Special:FilePath/EPMA.jpg?width=300 |
| dbo:wikiPageExternalLink | https://web.archive.org/web/20080604165533/http:/earth.es.huji.ac.il/machon/e-prob/prob.html |
| dbo:wikiPageID | 1633075 (xsd:integer) |
| dbo:wikiPageInterLanguageLink | dbpedia-ko:전자_현미경 |
| dbo:wikiPageLength | 22384 (xsd:nonNegativeInteger) |
| dbo:wikiPageRevisionID | 1106285800 (xsd:integer) |
| dbo:wikiPageWikiLink | dbr:Quartz dbr:Electromagnetic_spectrum dbr:Electron_energy_loss_spectroscopy dbr:Electron_microscope dbr:Electron_spectroscopy dbr:Electronics dbr:Mössbauer_spectroscopy dbr:Scanning_electron_microscope dbr:Metallurgy dbr:Bragg_diffraction dbr:Dentistry dbr:Anode dbr:Lithium dbr:Peter_Duncumb dbr:Burgess_shale dbr:University_of_Oregon dbr:University_of_Wisconsin–Madison dbr:Vernon_Ellis_Cosslett dbr:Mass_spectrometry dbr:Nuclear_reactor dbr:Electron_microscopy dbr:Geology dbr:André_Guinier dbr:Parts_per_million dbr:Max_Knoll dbc:Microscopes dbr:Ernst_Ruska dbr:Fluorescence dbr:Bremsstrahlung dbr:Northern_Arizona_University dbr:Tungsten dbr:Field_emission dbr:Henry_Moseley dbr:JEOL dbr:James_Hillier dbc:Analytical_chemistry dbr:Absorption_(electromagnetic_radiation) dbc:Scientific_techniques dbr:Charles_Oatley dbr:Lanthanum_hexaboride dbr:Trace_element dbr:X-rays dbc:X-rays dbr:CAMECA dbr:Phonon dbr:Plutonium dbr:Pol_Duwez dbr:Energy_dispersive_X-ray_spectroscopy dbr:Micrometers dbr:Mineralogy dbr:Opabinia dbr:Cathodoluminescence dbr:RCA dbr:X-ray_spectroscopy dbr:Plasmon dbr:Semiconductor_detector dbr:Electron_beam dbr:Electron_volts dbr:Office_national_d'études_et_de_recherches_aérospatiales dbr:Auger_electron dbr:Matrix_effect dbr:Nuclear_plant dbr:Shimadzu_Corporation dbr:Wavelength_dispersive_X-ray_spectroscopy dbr:File:1886VE10-SEM-HD.jpg dbr:File:1886VE10-optical.jpg dbr:File:EPMA.jpg |
| dbp:wikiPageUsesTemplate | dbt:Citation_needed dbt:Commons_category-inline dbt:For dbt:Short_description |
| dct:subject | dbc:Microscopes dbc:Analytical_chemistry dbc:Scientific_techniques dbc:X-rays |
| gold:hypernym | dbr:Tool |
| rdf:type | dbo:Software yago:WikicatMicroscopes yago:WikicatScientificInstruments yago:Artifact100021939 yago:Device103183080 yago:Instrument103574816 yago:Instrumentality103575240 yago:Magnifier103709206 yago:Microscope103760671 yago:Object100002684 yago:PhysicalEntity100001930 yago:ScientificInstrument104147495 yago:Whole100003553 |
| rdfs:comment | La microsonda d'electrons, microsonda electrònica o microsonda de Castaing (en anglès: electron probe microanalyser, EPMA) és una microsonda utilitzada com a mètode d'anàlisi dels elements químics inventada l'any 1951 per . Consisteix a bombardejar una mostra amb electrons i analitzar l' dels raigs X emesos per la mostra davant aquest bombardeix d'electrons. La conceentració dels elements des del bor al plutoni es pot mesurar a nivells tan baixos com 100 parts per milió (ppm). Millores recents permeten arribar a nivells d'uns 10 ppm. (ca) Die Elektronenstrahlmikroanalyse (ESMA; engl. electron probe micro analysis, EPMA, oder X-ray microanalysis) dient primär der zerstörungsfreien Analyse von Festkörperoberflächen mit lateraler Auflösung bis zu 1 µm. (de) La microsonde de Castaing (en anglais electron probe microanalyser, EPMA) est une méthode d'analyse élémentaire inventée en 1951 par Raimond Castaing. Elle consiste à bombarder un échantillon avec des électrons et à analyser le spectre des rayons X émis par l'échantillon sous cette sollicitation. (fr) 電子線マイクロアナライザ（でんしせんマイクロアナライザ、英: Electron Probe Micro Analyzer）または電子プローブ微小分析器、略称 EPMAとは電子線を対象物に照射する事により発生する特性X線の波長と強度から構成元素を分析する電子マイクロプローブ（EMP）装置の一つである。二次電子像や反射電子像による観察が主体の電子顕微鏡に特性X線検出器としてエネルギー分散型X線分析(EDS)を付加したもの（分析用のSEMやTEM、など）と比較して、EPMAは元素分析を主体としたものであり、特性X線検出器に波長分散型X線分析(WDS)を用いるために定量精度は良いが検出効率が悪く、より高い照射電流を必要とする。 10~30立方マイクロメータの試料があればホウ素からプルトニウムまで100(ppm)を下限とする検出感度で定量的に分析出来る。 (ja) 电子微探针（英語：Electron microprobe，縮寫 EMP），也被称为电子探针显微分析（electron probe microanalyzer，EPMA）或电子微探针分析仪（electron micro probe analyzer，EMPA），是一種用於非破性檢定少量固體材料化學成分的分析工具。它是用聚焦很细、直径小于1um的电子束轰击待分析试样上的微小区域，对激发出的特征X射线、二次电子、二次离子、背散射电子、俄歇电子、透射电子、吸收电子、阴极荧光等进行探测和信息处理的现代仪器分析方法，是电子光学技术与X射线光谱分析技术交汇的产物。 (zh) An electron microprobe (EMP), also known as an electron probe microanalyzer (EPMA) or electron micro probe analyzer (EMPA), is an analytical tool used to non-destructively determine the chemical composition of small volumes of solid materials. It works similarly to a scanning electron microscope: the sample is bombarded with an electron beam, emitting x-rays at wavelengths characteristic to the elements being analyzed. This enables the abundances of elements present within small sample volumes (typically 10-30 cubic micrometers or less) to be determined, when a conventional accelerating voltage of 15-20 kV is used. The concentrations of elements from lithium to plutonium may be measured at levels as low as 100 parts per million (ppm), material dependent, although with care, levels below 10 (en) Una microsonda elettronica, in inglese conosciuta come electron microprobe (EMP) o electron probe microanalyzer (EPMA) o ancora electron micro probe analyzer (EMPA) è uno strumento utilizzato per stabilire la composizione chimica di una piccola quantità di una sostanza solida in maniera non distruttiva. Il suo funzionamento è analogo a quello di un microscopio elettronico a scansione: il campione è bombardato con un fascio di elettroni e questo emette raggi X ad una lunghezza d'onda caratteristica dell'elemento analizzato. Questo permette di determinare l'abbondanza degli elementi presenti in un campione di piccole dimensioni (solitamente 10-30 micrometri cubici). La microsonda elettronica permette di misurare la concentrazione degli elementi compresi fra il boro e il plutonio fino a livel (it) Рентгеноспектральный микроанализ (микрорентгеноспектральный анализ, электронно-зондовый рентгеноспектральный анализ, электронно-зондовый микроанализ) — методика, позволяющая с помощью электронного микроскопа или специального электронно-зондового микроанализатора ("микрозонд") получить информацию о химическом составе образца в произвольно выбранном участке микроскопических размеров. Количественный рентгеноспектральный микроанализ (ru) |
| rdfs:label | Microsonda d'electrons (ca) Elektronenstrahlmikroanalyse (de) Electron microprobe (en) Microsonda elettronica (it) Microsonde de Castaing (fr) 電子線マイクロアナライザ (ja) Рентгеноспектральный микроанализ (ru) 电子微探针 (zh) |
| owl:sameAs | freebase:Electron microprobe yago-res:Electron microprobe wikidata:Electron microprobe dbpedia-ca:Electron microprobe dbpedia-de:Electron microprobe dbpedia-fa:Electron microprobe dbpedia-fr:Electron microprobe dbpedia-it:Electron microprobe dbpedia-ja:Electron microprobe dbpedia-ru:Electron microprobe dbpedia-zh:Electron microprobe https://global.dbpedia.org/id/53tuK |
| prov:wasDerivedFrom | wikipedia-en:Electron_microprobe?oldid=1106285800&ns=0 |
| foaf:depiction | wiki-commons:Special:FilePath/1886VE10-SEM-HD.jpg wiki-commons:Special:FilePath/1886VE10-optical.jpg wiki-commons:Special:FilePath/EPMA.jpg |
| foaf:isPrimaryTopicOf | wikipedia-en:Electron_microprobe |
| is dbo:wikiPageRedirects of | dbr:Electron_Microprobe dbr:Electron_probe_microanalyser dbr:Electron_probe_microanalysis dbr:Elemental_Mapping dbr:Elemental_mapping dbr:EPMA |
| is dbo:wikiPageWikiLink of | dbr:Rubicline dbr:Melt_inclusion dbr:Metallography dbr:Archaeology_of_trade dbr:Hubeite dbr:Peter_Duncumb dbr:Roaldite dbr:Vernon_Ellis_Cosslett dbr:Decrespignyite-(Y) dbr:Deicke_and_Millbrig_bentonite_layers dbr:Donnayite-(Y) dbr:Index_of_physics_articles_(E) dbr:Electron_Microprobe dbr:Stuart_Olof_Agrell dbr:List_of_materials_analysis_methods dbr:List_of_plasma_physics_articles dbr:Pressure-temperature-time_path dbr:Timeline_of_the_discovery_and_classification_of_minerals dbr:Concord_University dbr:Cornubite dbr:Analyser dbr:Ancient_Chinese_glass dbr:Chemostratigraphy dbr:George-ericksenite dbr:Christiane_Bonnelle dbr:Elkinstantonite dbr:Frank_Hawthorne dbr:Geigerite dbr:Geology dbr:Gordaite dbr:Braggite dbr:Murdochite dbr:Murrili_meteorite dbr:André_Guinier dbr:Bergenite dbr:Bobfergusonite dbr:Clearcreekite dbr:Igneous_petrology dbr:Mazama_Ash dbr:Meyrowitzite dbr:Microprobe dbr:Semiconductor_characterization_techniques dbr:946_eruption_of_Paektu_Mountain dbr:Cattiite dbr:Dark_stain dbr:Dollaseite-(Ce) dbr:Hadean_zircon dbr:Farneseite dbr:Balangeroite dbr:Dhar_iron_pillar dbr:Diamond_inclusions dbr:Edoylerite dbr:Geospeedometry dbr:Geothermobarometry dbr:Gold_fingerprinting dbr:Coyoteite dbr:EMP dbr:EMPA_(disambiguation) dbr:Mason_Gully_(meteorite) dbr:Parthéite dbr:Coffinite dbr:X-ray_fluorescence dbr:Moeraki_Boulders dbr:Dingle_Dell_meteorite dbr:CAMECA dbr:Klaus_Keil dbr:Mineralogy dbr:Wavelength-dispersive_X-ray_spectroscopy dbr:Eugene_Jarosewich dbr:Extraterrestrial_Sample_Curation_Center dbr:Sanidine dbr:Tephrochronology dbr:School_of_Molecular_Sciences_(Arizona_State_University) dbr:Scotlandite dbr:Monazite_geochronology dbr:Petrography dbr:Rainbow_lattice_sunstone dbr:Volcanologist dbr:Thin_section dbr:Vanarsite dbr:Electron_probe_microanalyser dbr:Electron_probe_microanalysis dbr:Elemental_Mapping dbr:Elemental_mapping dbr:EPMA |
| is foaf:primaryTopic of | wikipedia-en:Electron_microprobe |
