edw - Weblio 英和・和英辞典 (original) (raw)
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EDW
出典:『Wiktionary』 (2025/02/13 23:42 UTC 版)
名詞
EDW (plural EDWs)
「edw」を含む例文一覧
該当件数 : 1件
例文
To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition which resolves on a vertical sidewall in forming a contact hole pattern, ensures enhanced EDW, improves side lobe resistance, and reduced the number of Blob defects, as well as a resist film and a pattern formation method using the composition.例文帳に追加
コンタクトホールパターン形成時に垂直な側壁にて解像し、広いＥＤＷを確保でき、サイドローブ耐性が良化し、かつＢｌｏｂ欠陥数が低減した感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁
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