microwave plasma source - Weblio 英和・和英辞典 (original) (raw)
例文
Microwave output of the microwave power source 10 is set in such a way that a microwave electric field produced in the microwave resonator 10 exceeds the saturation point of plasma emission.例文帳に追加
マイクロ波電源１０のマイクロ波出力を、マイクロ波共振器３０内に作られるマイクロ波電界がプラズマ発光の飽和点を超えるように設定する。 - 特許庁
The microwave plasma device includes a microwave stopping member fixed on a treatment chamber and preventing intrusion of the microwave introduced from a microwave source to the high vacuum pump.例文帳に追加
本発明のマイクロ波プラズマ装置は、処理室に固定されて、マイクロ波源から導入されるマイクロ波の高真空ポンプへの侵入を防止するマイクロ波阻止部材を有する。 - 特許庁
On a generation of the plasma by using a microwave as an excitation source, a spiral antenna 12 is arranged at the external periphery of a plasma chamber 11 made of insulation material, and the plasma is generated by directly supplying the microwave to the antenna.例文帳に追加
マイクロ波を励起源としたプラズマを生成するにあたり、絶縁物で形成されたプラズマ室１１の外周部にスパイラル状のアンテナ１２を配置し、該アンテナにマイクロ波を直接給電してプラズマを生成する。 - 特許庁
The microwave plasma treatment apparatus 100 includes a treatment container 10 in which plasma is excited, a microwave source 40 which supplies a microwave for exciting the plasma in the treatment container 10, and the dielectric plate 31 which faces an inner side of the treatment container 10 and transmits the microwave supplied from the microwave source 40 into the treatment container 10.例文帳に追加
マイクロ波プラズマ処理装置１００は、内部にてプラズマが励起される処理容器１０と、処理容器１０の内部にプラズマを励起するためのマイクロ波を供給するマイクロ波源４０と、処理容器１０の内側に面し、マイクロ波源４０から供給されたマイクロ波を処理容器１０の内部に伝送させる誘電体板３１と、を備える。 - 特許庁
The light source for spectroscopic analysis is provided with a microwave power source 10, a microwave resonator 30 for transmitting microwaves generated by the microwave power source 10 through a waveguide 20, and a discharge tube 40 arranged in the microwave resonator 30 and filled with a plasma gas.例文帳に追加
マイクロ波電源１０と、マイクロ波電源１０において発生したマイクロ波が導波管２０によって伝えられるマイクロ波共振器３０と、マイクロ波共振器３０内に配置され、プラズマガスで満たされた放電管４０とを備える。 - 特許庁
MICROWAVE ION SOURCE, LINEAR ACCELERATOR SYSTEM, ACCELERATOR SYSTEM, ACCELERATOR SYSTEM FOR MEDICAL USE, HIGH ENERGY BEAM APPLICATION SYSTEM, NEUTRON GENERATING DEVICE, ION BEAM PROCESSING DEVICE, MICROWAVE PLASMA SOURCE, AND PLASMA PROCESSING DEVICE例文帳に追加
マイクロ波イオン源、線形加速器システム、加速器システム、医療用加速器システム、高エネルギービーム応用装置、中性子発生装置、イオンビームプロセス装置、マイクロ波プラズマ源及びプラズマプロセス装置 - 特許庁
The plasma processing apparatus comprises a chamber for performing plasma processing of an article to be processed, a slot electrode guiding a microwave for plasma processing, and a plasma source for igniting the plasma.例文帳に追加
プラズマ処理装置を、被処理体にプラズマ処理を行うためのプラズマ処理室と、該プラズマ処理のためのマイクロ波を案内するスロット電極と、該プラズマを着火させるためのプラズマ源とで構成する。 - 特許庁
例文
The microwave plasma generation device comprises a microwave source for generating excitation microwave, a plasma gas source, the vacuum vessel 1 to which gas is supplied from the plasma gas source, a coaxial waveguide tube 3 for guiding excitation microwave into the container, and a parallel flat plate launcher 2 arranged in the container 1.例文帳に追加
本発明によるマイクロ波プラズマ発生装置は、励起マイクロ波を発生するマイクロ波源と、プラズマガス源と、前記プラズマガス源からガスが供給されるプラズマ発生用の真空容器１と、前記容器内に励起用のマイクロ波を導入する同軸導波管３と、および前記容器１内に配置された平行平板ランチャ２とから構成されている。 - 特許庁