B. Le Foulgoc - Academia.edu (original) (raw)
Papers by B. Le Foulgoc
TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007
ABSTRACT
2006 5th IEEE Conference on Sensors, 2006
In designing micro-scale vibrating sensors, the achievement of very high quality factor (Q) reson... more In designing micro-scale vibrating sensors, the achievement of very high quality factor (Q) resonators working in bending mode remains a major issue. Special attention has been paid in this work to explore the Q limitations of single-crystal silicon bending beam resonators and their dependences on geometry, temperatures and pressure for a large range of resonators. In order to preserve the resonating element from support damping, a system with high decoupling efficiency has been optimized using FEM analyses and implemented. Quality factor as a function of frequency shows the transition between thermoelastic damping (TED) and surface damping as limiting mechanism with the miniaturization of the resonators: At high vacuum, the thermoelastic theory is experimentally validated to be the main damping source for Q up to 4.0x104. Beyond these values (Q > 1.4x105) the surface effects are evidenced and characterized with thickness and frequency variations.
2007 IEEE Sensors, 2007
ABSTRACT
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2006
Http Www Theses Fr, Oct 23, 2008
Un peu de gratitude et de reconnaissance envers les personnes qui m'ont soutenu, supporté, guidé,... more Un peu de gratitude et de reconnaissance envers les personnes qui m'ont soutenu, supporté, guidé, écouté (des fois), conseillé au cours de ces trois années, enfin bref tous ceux qui font qu'un travail de thèse est avant tout un travail d'équipe. Je remercie Pierre TOUBOUL de m'avoir accueilli au sein de son département (Département de Mesures Physiques, DMPH) et François DEYZAC au sein de son unité (Capteurs et Micro-Technologies, CMT) avant de céder aux appels de la qualité. Je remercie vivement Olivier LE TRAON pour m'avoir ouvert au monde des capteurs inertiels au sein de son équipe. Merci pour tous tes conseils avisés et pour toutes ces discussions jusqu'à pas d'heure. Je t'en suis très reconnaissant. Ce fut un grand plaisir de travailler avec mon directeur de thèse Tarik BOUROUINA qui s'est toujours assuré du bon déroulement de la thèse. Merci pour m'avoir ouvert les portes des microtechnologies à l'ESIEE. Je remercie très sincèrement les membres de mon jury pour avoir accepté et pris le temps d'évaluer mes travaux : Lionel BUCHAILLOT et Daniel HAUDEN pour leur travail de rapporteurs, Alain BOSSEBOEUF pour la présidence de ce jury, Alain RIONDET, Pierre TOUBOUL, Tarik BOUROUINA et Olivier LE TRAON pour leur travail d'examinateurs. Mais ce travail est avant tout le fruit de la collaboration de trois laboratoires et de nombre de personnes motivées, enthousiastes et attachantes. Je remercie en premier lieu l'ensemble de l'équipe Capteurs et Micro-Technologies pour leur soutien, leur bonne humeur et leur intérêt dans mes travaux. Un grand merci à Denis JANIAUD pour sa patience et son support. Merci surtout pour toutes ces longues heures de relecture de manuscript au crayon rouge et pour les conseils avisés sur comment réaliser un bon pot de thèse.. Merci à Serge MULLER de ne pas trop râler alors qu'il ne retrouvait pas ses outils, à Claude CHARTIER pour m'avoir fait découvrir les joies de taper dans une petite balle blanche, à Stève MASSON pour ses vocalises qui restent dans le bocal, à Raphael LEVY toujours aussi optimiste (surtout après le gouter), mais aussi à Jean GUERARD, Marc PERNICE et Bruno EISENBEIS. Un grand merci à Arnaud PARENT, spécialiste des micro-siestes et serial-basketteur, mon colloque de bureau pendant ces trois années. Merci également pour la bonne humeur apportée par les stagiaires : Julie LEDOGAR et Yvan LESIK. Et bon vent et bon courage aux nouveaux thésards : Mélanie DESCHARLES et Iännis ROLAND. Merci également à Pierre LESEUR pour sa disponibilité et sa patience face à mes croquis faits maison. Je remercie également l'ensemble de l'équipe ESYCOM de l'ESIEE : Frédéric MARTY, expert DRIE, et toujours aussi ouvert et passionné par de nouveaux challenges. Merci également à Lioi nel ROUSSEAU et Bruno MERCIER pour vos précieux conseils en salle blanche même si je n'ai pas eu l'occasion de casser grand chose. Un grand merci à Lionel BABADJIAN pour m'avoir initié aux plaisirs de l'enseignement. Je remercie l'ensemble de l'équipe MINASYS de l'IEF qui à toujours été prompte à répondre à mes besoins. Un grand merci à Alain BOSSEBOEUF, toujours très disponible quand il est là et toujours partant pour une nouvelle expérience, merci de m'avoir accueilli si souvent à l'IEF. Merci également à Fabien PARRAIN, Hervé MATHIAS, Cédric BRELUZEAU, Jean-Paul GILLES et Souhil MEGHERBI pour toutes ces discussions scientifiques très intéressantes. Un remerciement spécial aux équipes adminitratives qui m'ont rendu la vie bien plus simple pendant ces trois années :
AIP Conference …, 2002
In this research study carbon nanotubes and carbon nanofibres were investigated as possible reinf... more In this research study carbon nanotubes and carbon nanofibres were investigated as possible reinforcements to improve the mechanical and thermal properties of several polymer matrix systems. A range of polymer matrices were examined and include polyvinyl alcohol, poly(9-vinyl carbazole) and polyamide. To compare production methods, polymer composite films and fibres were produced. It was found by adding various mass fractions
Journal of Physics: Condensed Matter, 1995
Two new charge transfer salts combining the " E (ethylenedithiotemlhiafdvalene) donor and the Pd(... more Two new charge transfer salts combining the " E (ethylenedithiotemlhiafdvalene) donor and the Pd(dmith acceptor (dmi9-= 4. 5dimercapto-1. 3-dilhiole2-thione) have been prepared and characterized. The molecular structure of the (wm)z1Pd(dmit)z13 salt is quite unusual since the Pd(dmit)z entities form true trimers through two strong interactions between the Pd atom. These trimers of acceptors form slabs which alternate with slabs of ( m ) z pairs. Band structure calculations indicate a charge transfer of one electron per ED= molecule and we expect this 2 3 salt to be a semiconductor. In the (wrmh[Pd(dmith]z salt, the w m units form cenhosymmetric pairs which pile up along [loo] while the [Pd(dmit)z]t dimers pile up along [loll. Stacks of donors and acceptors form segregated slabs which alternate along [OIO]. (m)z[Pd(dmit)zlz is metallic. and our studies suggest the occurrence of a charge transfer of elect" per molecule. TILS salt exhibits a resistivity anomaly, a drop of spin susceptibility and a structural phase transition at 50 K. These data combined with electronic
International Journal of Nanoscience, 2003
ABSTRACT
TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007
ABSTRACT
2006 5th IEEE Conference on Sensors, 2006
In designing micro-scale vibrating sensors, the achievement of very high quality factor (Q) reson... more In designing micro-scale vibrating sensors, the achievement of very high quality factor (Q) resonators working in bending mode remains a major issue. Special attention has been paid in this work to explore the Q limitations of single-crystal silicon bending beam resonators and their dependences on geometry, temperatures and pressure for a large range of resonators. In order to preserve the resonating element from support damping, a system with high decoupling efficiency has been optimized using FEM analyses and implemented. Quality factor as a function of frequency shows the transition between thermoelastic damping (TED) and surface damping as limiting mechanism with the miniaturization of the resonators: At high vacuum, the thermoelastic theory is experimentally validated to be the main damping source for Q up to 4.0x104. Beyond these values (Q > 1.4x105) the surface effects are evidenced and characterized with thickness and frequency variations.
2007 IEEE Sensors, 2007
ABSTRACT
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2006
Http Www Theses Fr, Oct 23, 2008
Un peu de gratitude et de reconnaissance envers les personnes qui m'ont soutenu, supporté, guidé,... more Un peu de gratitude et de reconnaissance envers les personnes qui m'ont soutenu, supporté, guidé, écouté (des fois), conseillé au cours de ces trois années, enfin bref tous ceux qui font qu'un travail de thèse est avant tout un travail d'équipe. Je remercie Pierre TOUBOUL de m'avoir accueilli au sein de son département (Département de Mesures Physiques, DMPH) et François DEYZAC au sein de son unité (Capteurs et Micro-Technologies, CMT) avant de céder aux appels de la qualité. Je remercie vivement Olivier LE TRAON pour m'avoir ouvert au monde des capteurs inertiels au sein de son équipe. Merci pour tous tes conseils avisés et pour toutes ces discussions jusqu'à pas d'heure. Je t'en suis très reconnaissant. Ce fut un grand plaisir de travailler avec mon directeur de thèse Tarik BOUROUINA qui s'est toujours assuré du bon déroulement de la thèse. Merci pour m'avoir ouvert les portes des microtechnologies à l'ESIEE. Je remercie très sincèrement les membres de mon jury pour avoir accepté et pris le temps d'évaluer mes travaux : Lionel BUCHAILLOT et Daniel HAUDEN pour leur travail de rapporteurs, Alain BOSSEBOEUF pour la présidence de ce jury, Alain RIONDET, Pierre TOUBOUL, Tarik BOUROUINA et Olivier LE TRAON pour leur travail d'examinateurs. Mais ce travail est avant tout le fruit de la collaboration de trois laboratoires et de nombre de personnes motivées, enthousiastes et attachantes. Je remercie en premier lieu l'ensemble de l'équipe Capteurs et Micro-Technologies pour leur soutien, leur bonne humeur et leur intérêt dans mes travaux. Un grand merci à Denis JANIAUD pour sa patience et son support. Merci surtout pour toutes ces longues heures de relecture de manuscript au crayon rouge et pour les conseils avisés sur comment réaliser un bon pot de thèse.. Merci à Serge MULLER de ne pas trop râler alors qu'il ne retrouvait pas ses outils, à Claude CHARTIER pour m'avoir fait découvrir les joies de taper dans une petite balle blanche, à Stève MASSON pour ses vocalises qui restent dans le bocal, à Raphael LEVY toujours aussi optimiste (surtout après le gouter), mais aussi à Jean GUERARD, Marc PERNICE et Bruno EISENBEIS. Un grand merci à Arnaud PARENT, spécialiste des micro-siestes et serial-basketteur, mon colloque de bureau pendant ces trois années. Merci également pour la bonne humeur apportée par les stagiaires : Julie LEDOGAR et Yvan LESIK. Et bon vent et bon courage aux nouveaux thésards : Mélanie DESCHARLES et Iännis ROLAND. Merci également à Pierre LESEUR pour sa disponibilité et sa patience face à mes croquis faits maison. Je remercie également l'ensemble de l'équipe ESYCOM de l'ESIEE : Frédéric MARTY, expert DRIE, et toujours aussi ouvert et passionné par de nouveaux challenges. Merci également à Lioi nel ROUSSEAU et Bruno MERCIER pour vos précieux conseils en salle blanche même si je n'ai pas eu l'occasion de casser grand chose. Un grand merci à Lionel BABADJIAN pour m'avoir initié aux plaisirs de l'enseignement. Je remercie l'ensemble de l'équipe MINASYS de l'IEF qui à toujours été prompte à répondre à mes besoins. Un grand merci à Alain BOSSEBOEUF, toujours très disponible quand il est là et toujours partant pour une nouvelle expérience, merci de m'avoir accueilli si souvent à l'IEF. Merci également à Fabien PARRAIN, Hervé MATHIAS, Cédric BRELUZEAU, Jean-Paul GILLES et Souhil MEGHERBI pour toutes ces discussions scientifiques très intéressantes. Un remerciement spécial aux équipes adminitratives qui m'ont rendu la vie bien plus simple pendant ces trois années :
AIP Conference …, 2002
In this research study carbon nanotubes and carbon nanofibres were investigated as possible reinf... more In this research study carbon nanotubes and carbon nanofibres were investigated as possible reinforcements to improve the mechanical and thermal properties of several polymer matrix systems. A range of polymer matrices were examined and include polyvinyl alcohol, poly(9-vinyl carbazole) and polyamide. To compare production methods, polymer composite films and fibres were produced. It was found by adding various mass fractions
Journal of Physics: Condensed Matter, 1995
Two new charge transfer salts combining the " E (ethylenedithiotemlhiafdvalene) donor and the Pd(... more Two new charge transfer salts combining the " E (ethylenedithiotemlhiafdvalene) donor and the Pd(dmith acceptor (dmi9-= 4. 5dimercapto-1. 3-dilhiole2-thione) have been prepared and characterized. The molecular structure of the (wm)z1Pd(dmit)z13 salt is quite unusual since the Pd(dmit)z entities form true trimers through two strong interactions between the Pd atom. These trimers of acceptors form slabs which alternate with slabs of ( m ) z pairs. Band structure calculations indicate a charge transfer of one electron per ED= molecule and we expect this 2 3 salt to be a semiconductor. In the (wrmh[Pd(dmith]z salt, the w m units form cenhosymmetric pairs which pile up along [loo] while the [Pd(dmit)z]t dimers pile up along [loll. Stacks of donors and acceptors form segregated slabs which alternate along [OIO]. (m)z[Pd(dmit)zlz is metallic. and our studies suggest the occurrence of a charge transfer of elect" per molecule. TILS salt exhibits a resistivity anomaly, a drop of spin susceptibility and a structural phase transition at 50 K. These data combined with electronic
International Journal of Nanoscience, 2003
ABSTRACT