Способ термической обработки кремниевых подложек — SU 1114258 (original) (raw)
Описание
Способ термической обработки кремниевых подложек, включающий их нагрев в среде водорода в течение 1 - 4 ч, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества подложек за счет уменьшения плотности дефектов у рабочей поверхности подложек, на рабочую поверхность каждой подложки устанавливают пластину кварца или сапфира толщиной, в 2 - 4 раза большей толщины кремниевой подложки, и нагревают нерабочие стороны подложек до температуры 900 - 1200oC.
Заявка
3321336/25, 20.07.1981
Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР
Латута В. З, Марончук И. Е, Марончук Ю. Е, Носовский М. П, Тузовский А. М
МПК / Метки
МПК: H01L 21/324
Метки: кремниевых, подложек, термической
Опубликовано: 10.11.1999