Способ получения трихлорсилана — SU 1432951 (original) (raw)
Описание
Способ получения трихлорсилана, включающий взаимодействие водорода и хлора, гидрохлорирование кремнийсодержащего сырья полученным хлористым водородом, конденсацию трихлорсилана и его ректификацию, отличающийся тем, что, с целью уменьшения содержания примесей бора в трихлорсилане и повышения экономичности процесса, конденсацию проводят до остаточного содержания трихлорсилана 0,01 - 7 мас. % в парогазовой смеси, которую затем смешивают с исходным водородом и подают на стадию взаимодействия с хлором.
Заявка
4211631/26, 23.02.1987
Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет"
Назаров Ю. Н, Старобина Т. М, Чапыгин А. М, Кох А. А, Аркадьев А. А, Лозовацкий В. М
МПК / Метки
МПК: C01B 33/107
Метки: трихлорсилана
Опубликовано: 10.08.1999