Способ обработки поверхности кремния — SU 1507126 (original) (raw)
Описание
Способ обработки поверхности кремния, включающий имплантацию ионов бора и последующее облучение импульсами света, отличающийся тем, что, с целью повышения термостойкости имплантированного слоя, облучение ведут с длительностью импульсов не более десятков секунд при плотности мощности не менее 10 Вт/см2.
Заявка
4253234/25, 01.06.1987
Коршунов А. Б, Генералов Н. А, Зимаков В. П, Соловьев Н. Г, Верин В. М, Козлов П. В, Прохоров В. И, Павлов В. А, Аверьянова Т. М, Старикова Л. Е, Петровнин Н. М, Тимашева Т. П, Шестериков С. А, Щербина С. М, Гласко В. Б, Губарь А. Ю
МПК / Метки
МПК: H01L 21/26
Метки: кремния, поверхности
Опубликовано: 20.09.2001