Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов — SU 1036075 (original) (raw)
Описание
1. Источник магнетронного распыления ферромагнитных материалов, содержащий катод, магнитную систему с полюсными наконечниками и мишень, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, в мишени выполнена канавка, расположенная между полюсными наконечниками магнитной системы.
2. Источник по п.1, отличающийся тем, что канавка расположена на поверхности мишени, прилегающей к магнитной системе.
Заявка
3226787/21, 29.12.1980
Симонов В. А, Юрков А. Н, Аксенов В. Г, Горяев А. И
МПК / Метки
МПК: C23C 14/42
Метки: источник, магнетронного, распыления, ферромагнитных
Опубликовано: 27.07.2010