Способ получения плазмохимических пленок двуокиси кремния — SU 1299397 (original) (raw)
Описание
Способ получения плазмохимических пленок двуокиси кремния, включающий нанесение слоя двуокиси кремния в плазме ВЧ-разряда из смеси моносилан-аргон-кислород, отличающийся тем, что, с целью улучшения зарядовых свойств плазмохимических пленок за счет аморфизации их структуры, после нанесения пленок производят отжиг в атмосфере водорода, азота или инертного газа в диапазоне температур от 600 до 650 K или от 900 до 950 K в течение 10-90 мин.
Заявка
3815691/25, 26.11.1984
Физико-технический институт АН БССР
Румак Н. В, Хатько В. В, Пухов В. И
МПК / Метки
МПК: H01L 21/316
Метки: двуокиси, кремния, плазмохимических, пленок
Опубликовано: 27.06.2012