Раствор для травления кварца — SU 1694501 (original) (raw)
( 9) 5 С 03 С 15/00 ПРИ ГКНТ СССР ИЗОБРЕТЕНИЯ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ АВТО ров для травления, и может вано для химической обрабо кварца, используемых в эле ханической промышленнос бретения является повыш поверхности. Для этого рас фторсодержащий компонен цией 2,0 - 21,0 моль/л и орга с одной функциональной гр длине углеводородного рэд концентрацией 0,3-13,7 м пользовании растворов у центрации качество улучшается, 1 табл. дой до 100 мл, Полученный раствор с концентрацией ПАВ 0,9 моль/л при тщатель- Сном перемешивании нагревют до 75 С ипомещают в него круглые образцы кварца сдиаметром, равным 7 мм, с исходным значением шероховатости поверхности Я, равным 0,1мкм, и травят при этой температуре в течение 030 мин. После этого образцы вынимают израствора, тщательно отмывают горячей водой,сушат, измеряют значение Я на профилографе-профилометре, которое при этом составило0,06 мкм,изобретеравления кварцщий компонентичающийскачества, исподной функционуглеводороднотрацией 0,3-13компонент с нияа, включаю- и оргэничея тем, что, с льзуют орга-альной групго радикала.7 моль/л и концентра 0%-ной вают 10 г фтори стилли Пример. К 58 мл 5 дородной кислоты прили нола, добавляют 14,8 МН 4 Р и доводят объем ди фтористовол изогептаа аммония рованной воГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ(54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КВАРЦА(57) Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам раствоИзобретение относится к неорганической химии, в частности к составам растворов для травления, и может быть использовано для химической обработки изделий из кварца, используемых в электронной и оптико-механической промышленности.Целью изобретения является повышениекачества поверхности,Испытания проводят на круглых образцахкварца с диаметром 7 мм с исходной шероховатостью 8=0,1 мкм. Образцы помещают в раствор определенного состава и травят при определенной температуре. Значение шероховатости поверхности измеряют на профилографе-профилометре "ТаИэцб - 6".Конкретные составы растворов и их свойства приведены в таблице.Раствор для травления к ва рцэ готовят следующим образом. Фо рмула Раствор для т щий фторсодержа ский спирт, о т л целью повышения нический спирт с о пой ОН при длине С 2 - С 10, с кончен фторсодержащий цией 2,0 - 21,0 мол быть испольэотки изделий из ктронной и мети. Целью изоение качества твор содержит т с концентранический спирт уппой ОН при икала С 2 - С 1 о с оль/л. При искаэанной кон- поверхности1694501 Результаты травления кварца С оста в ра ст вора Концентрация,моль/лЗначение Ве мкм мкм до травления после трав"пения 5,811,717,64,2 НГ - Н 0 - этанол 10 - НтО - этанол НГ - НО - этанол Нг - Н 10:" этанол 515,15,113,7 15,5 751575 30 5,5 75 45 3,6 75 150 0,1 0,1 0,1 0,1 0,07 0,06 0,06 0,06 НГ - АНАР - 1,О:" метанол 40 90 6,03 0,1 0,17 75 75 75 75 80 75 1206018012014030 30 30 0,06 0,05 75 75 2,3 15,5 1,9 19,2 10,03,5 0,1 0,1 60 5,4 0,04 3,1 НР,0 н 114 нг 7,6 50 0,1 НГ - НИ 1 й -Н. О - гекХсанол 60 6,7 0,08 0,1 4;6 0,06 НГ -НН 4 Р- октанолНг - ННГ -Н 10 - деканолНг -БН 4 Г- НО -фенол 0,1 7,2 0,1 0,05 0,06 3,0,1 13,8 0,06 75 90 50 30 Нг - Ну,о - пентанол НГ - НН 4 НГ - Н 2 О - пенйтанол 0,1 45 НГ 60вн 4 НГ 10,05,52,7 50 16,1 0,1 0,05 30 90 11,2 15,0 0,1 0,1 0,1 0,15 0,15 НР - Н 20 - глицеринНН 411 Г 1- НО - глицеринНГ -НН 4 Г- Н 1 - , глицерин 27 НР 50 НН 1 г 1,6 0,14 50 76 10,0 Нг -НН 4 Р - Н 20 - гли"церин 2,7 НГ НН 4 Г75 52 ЪО,О 0,1 0,17 7,0 1,6 Составитель Т,НикульниковаТехред М,Моргентал Корректор, М,Максимишинец Редактор А.Маковская Заказ 4123 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина. 101 Нг - Н 20 - метанол НН 4 Р - НО - пропанол Нг - Н 20 - бутанол Нг " НО - изобутанол НН 4 НГ- НО - пентанол НР -НН 411 Г- НО - изопентанол 1НГ - НО - изогепта-. нол 2НГ - НО - гептанол11 НФНГ 1- Н 10 - геп" танол 6,9 НГ - 10НН 4 Р 10,0 10,03,9 20,07,8 10,05,310,009 10,00.9ннднг 2 4,0 55 НР 10 Н 4 Нг 4,0 2,5 НГ 3,0 НН 4 Г 2, 0 12 НР 2,0 11 Н 4 Г В, О 86 НР 1 О НН 4 Г 1,О 1,В 20,8