Радиальный турболюлекулярный вакуумный — SU 395620 (original) (raw)
Текст
идетельстваависимое от ав Р 044 19/О явлено 07.1 Х.1971 ( 1697818/24-6 рисоединением зая Ге Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытийриоритетпубликовано 28,И 11,1973, Бюллетень3 ата опубликования описания 8.1.1974 УДК 621.527,8(088.8) и А. В, ХейфециАвторы зобретения Р;охи т:; ц гузнецо явител ЬНЫЙ ОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙНАСОС А ию ва ми на ного вращения и на со верхностях корпуса, Ра ложены на роторах всНасос работает след Откачиваемый газ п всасывающий фланец 2 рабочим 5 ступеням, о брасывается в форвак откуда форвакуумным атмосферу,Изумасами Известны радиальные тур бомолекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус с установленными в нем роторами встречного вращения, имеющими раоочие и уплотнительные ступени, расположенные по концентрическим окружностям на роторах и сопряженных с ними поверхностях корпуса.Однако сжатие газа уплотнитсльными пенями меньше, чем рабочими, что огра вает получение более высокого вакуума.Предлагаемый насос отличается тем, что первые уплотнительпые ступени размещены на окружностях, диаметры которых превышают диаметры окружностей первых рабочих ступеней. Количество уплотнительных ступеней может превышать количество рабочих ступеней, например, в 1,5 - 2 раза.Это позволяет повысить степень сжа го насоса.На чертеже схематично представлен описываемый насос.Он содержит корпус 1 со всасываю фланцем 2. Внутри корпуса установлены торы 8 встречного вращения и уплотнител ступени 4, расположенные на роторах встреч 1сту- нпчиредмет изобретен 1. Радиальный турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с установленными в псм роторами встречного вращения, имеющими рабочие и уплотнительные ступени, расположенные по концентрическим окружностям па роторах и сопряженных с ними поверхностях корпуса, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, первые уплотнптельные ступени размещены на окружностях, диаметры которых превышают диаметры окружностей первых рабочих ступеней.2. Насос по и. 1, отличающийся тем, что количество уплотнительных ступеней превышает количество рабочих ступеней, например, в 1,5 - 2,0 раза. гтия всещим ро- ьныс ретение относится к получе ханическими высоковакуумн пряженных с ними побочие ступени б распотречного вращения. ующим образом.оступает в насос через к уплотнительным 4 и ткачивается ими и выумную полость насоса,насосом удаляется в395620 Составитель Б. Иванов Тсхрсд А, Камышцикова Корректор Е Блюмина сдактор Л. Народна Подписно каз 3604,5ЦНИИП Типография, пр. Сапунова,Изд. М 970осударственного по делам изоМосква, Ж,Тираж 678комитета Совета Министрретений и открытийРаушская наб д. 4/5
Заявка
1697818
И. Д. Днохкн, В. И. узнецов, А. Б. Хейфец
МПК / Метки
МПК: F04D 19/04
Метки: вакуумный, радиальный, турболюлекулярный
Опубликовано: 01.01.1973