Способ химической счистки изделий в парах кипящего растворителя — SU 424922 (original) (raw)

Текст

Союз Советских Социалистических Республик) М. Кл. С 23 о 50Н 051 3,2 цсоедиценцем заявкиосударственнвй комит Совета Министров ССС оо делам ивооретеннйи открытий(72) Авторы изобретения Ионов и А. Т. Мягк(54) СПОСОБ ХИМИЧЕСКОЙ ОЧИСТКИ ИЗДЕЛИЙ В ПАРАХ КИПЯЩЕГО РАСТВОРИТЕЛЯ2 пе нагревает нсацця црекр Изобретение относится к радиоэлектронике, а именно к способам химической очистки поверхности цзлслцй в парах растворителей, и может быль использовано для очистки полупроводцшовых пластин, дпэлектрпгскцх под ложек и изделий мцкроэлектроцноц техники.Известен способ химической очистки пверхцости изделий от органических ц неорганических загрязнений в парах растворителей.Обработка в парах ведется при температу ре конденсации растворителя, которая определяется температурой кипения.При выравнивании температуры изделия и температуры паров растворителя процесс конденсации паров на поверхности обрабаты ваемого изделия прекращается.При обычных условиях процесс конденсации длится не более 0,5 - 1 мш, что не дает необходимого эффекта паровой очистки.С целью увеличения эффекта очистки при бегают к многократному чередованию циклов очистки в парах и обработки холодным растворителем.Однако известный способ химической обработки парами растворителей характеризуется 25 низкой температурой конденсации паров, кратковременностью цикла конденсации из-за прогрева изделия парами растворителя до температуры кипения жидкости, необходимостью введения холодного растворителя для 30 охлаждения изделия, что приводит к загрязненпо .оверхцостц ц к дополнительному расходу реактива, а это существенно удорожает способ.Цел:1 о цзоорстецця является повышение каества очистки п ццтсцсцфцкаццц процесса.Для этого в рабочей камере цад поверхностью кипящего растворителя создают избыточное давление, постепенно увеличивающееся в течение заданного цикла очистки.Обрабатываемье в парах растворителя изделия завешцваются в аппарат паровой обработки цад зеркалом растворителя.Прц закцпаццц растворителя образуются пары с температурой кипения 1 ипп. Изделие в первоначальный момент имеет температуруипп окружаоц 1 е 11 среды, Г 1 ри норм альнъх УСЛОВЦЯХ 1 иди(1 иип, т. Е. ИДЕТ ПРОЦЕСС КОН- денсаццц.Через некоторое время цздел ся до температуры паров ц конде аЩаЕТСЯ ( ипп=1 иип)Если в ргбочсм объеме увеличить давление, та ТСМПЕратург КИПЕНИЯ жцдКОСтц Г 1 иип УВЕЛЦЧНТСЯ 1 1 иип 1 иип, и ТЕМПЕРатУРа ЦЗДЕ- лия равна Гиии, значит имеются условия конденсации. Увеличение давления производят в течение задашого цикла. Прц снятии давления происходит высушивацие пластины, так как 1 п,п(1 пп. Например, проводилась срав424922 11 редмет из обретения Составитель Б, Ионов Редактор А, Зиньковсклй Корректоры: А. Николаева и Л. КорогодТехред Е. Борисова Заказ 2670/10 Изд.785 Тираж 875 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 нительная очистка поверхности ситалловых подложек, на которые были нанесены равные капли глифталевой смолы, в парах над поверхностью нормально кипящего растворителя (при атмосферном давлении) и при плавном увеличении избыточного давления от 0 до 6 атм в течение 15 мин.Б качестве растворителя использовался раствор фреон Г = 113: фреон Р - 30: изопропиловый спирт =40% Ъ;40% Ъ:20% Г Растворение смолы определялось визуально по исчезновению капли смолы, При очистке в парах над поверхностью нормально кипящего растворителя время конденсации составляло 40 сек, после чего пластину опускали в холодный растворитель (=20 С) на 15 сек. Цикл очистки в парах кипящего растворителя составил 40 мин, а при избыточном давлении -2 мин. Способ химической очистки изделий в парахкипящего растворителя, о т л и ч а ю щ и й с я 10 тем, что, с целью повьпдения качества очисткии интенсификации процесса, в рабочеп камере над поверхностью кипящего растворителя создают избыточное давление, постепенно увеличивающееся в течение заданного цикла очистки.

Смотреть

Заявка

1842365, 30.10.1972

Б. В. Ионов А. Т. Мпгков

МПК / Метки

МПК: C23G 5/00

Метки: кипящего, парах, растворителя, счистки, химической

Опубликовано: 25.04.1974

Код ссылки

Способ химической счистки изделий в парах кипящего растворителя