Способ испарения сублимирующих металлов — SU 501118 (original) (raw)
Текст
я 50 Ш 8 ОП ИСАНИ Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических(23) ПриоритетОпубликовано 30.0 Совета Министров ССС ло делам изааретений 53) УДК 621.793.16(088.8) юллетень Ме 4 и отнрыти ата опубликования описания 13.04.7 2) Авторы изобретения Ю, Абеле, А. Г, Зеберин, И, В. Клявинь, К. Т, Киршфельди А, В. Чолакян(71) Заявител ециальное конструктор при Госпланее бюро вакуумных покрытииЛатвийской ССР 54) СПОСОБ ИСПАРЕНИЯ СУБЛИМИР Х МЕТАЛЛОВ 2 по сравнению с сублимпрующим мета упругость пара и образующего с ним э тическую систему с ограниченной раст мостью в твердой фазе. 5 Лктивирующий металл целесообразно носить испарением в вакууме, причем новлять этот слой необходимо в конце дущего цикла испарения в случае цик работы вакуумной установки с напуск 0 мосферы в конце каждого цикла. При испарении магния в условиях ср го и высокого вакуума в присутствии ак тора: свинца, висмута, олова или меди щиной в доли микрона сублимация начи 5 ся сразу же по достижении эвтектич температуры со скоростью, близкой к ра ной по значению упругости пара магния данной температуре, При этом испар идет равномерно по всей активированно 0 верхности.ор возоб- предыличной ом атдне- иваол аетской четпри ение поии так плавле одит к Формула изобретени Способ испаре 25 лов путем нагр щийся тем, что тивности процесс сокого вакуума,лимнрующего те ЗО кого металла, ифективх средсубли- легко- низкую Изобретение относится к спосооам нанесения покрытий методом термического испарения и конденсации в вакууме и может быть использовано при испарении металлов, имеющих высокую упругость пара вблизи точки плавления.Известный способ испарения сублимирующих металлов с целью реализации теоретической скорости проводят либо в сверхвысоком вакууме (выше 10 -мм рт. ст,), либо при высокой температуре, приводящей к перегреву металла.Достижение сверхвысокого вакуума в промышленном вакуумметаллизационном оборудовании требует усложнения конструкции, длительности процесса и подбора спецматериалов и к тому же становится практически недостижимым при ооработке подложки больших размеров, которая легко адсорбирует газ. Повышение температуры суолимац же неприемлемо из-за опасности рас ния сублимирующего тела, что прив износу его и нестабильности процессЦель изобретения - обеспечение эф ности процесса сублимации в условия него и высокого вакуума.Для этого на рабочую поверхность мирующего тела наносят тонкий слой плавкого металла, имеющего более ния сублимирующих металева в вакууме, отличаю, с целью повышения эффека в условиях среднего и вына рабочую поверхность субча наносят слой легкоплавтеющего более низкую пс501118 Составитель Л. Голубева Текред Т, Курилко Корректор Л, Котова Редактор И. Грузова Заказ 622/19 Изд, ЛЪ 1070 Тираж 1067 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж.35, Раушская набд. 4/5Типография, п р. С апу но в а, 2 сравнению с сублимирующим металлом упр, - гость пара и образующего с ним звтеитичесиу 1 о систему с ограниченной растворимостьюв твердой фазе.
Заявка
1791255, 30.05.1972
СПЕЦИАЛЬНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ БЮРО ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ
АБЕЛЕ АРВИД ЮЛЬЕВИЧ, ЗЕБЕРИН АРТУР ГЕНРИХОВИЧ, КЛЯВИНЬ ИВАР ВОЛЬДЕМАРОВИЧ, КИРШФЕЛЬД КАРЛ ТЕОДОРОВИЧ, ЧОЛАКЯН АЛЬФРЕД ВАГРАМОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 13/00
Метки: испарения, металлов, сублимирующих
Опубликовано: 30.01.1976