Способ изготовления чувствительно-го элемента термометра сопротивле-ния — SU 508688 (original) (raw)

Текст

О П И С А Н И Е (11) 508688ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистических Республик 61) Дополнительное к22) Заявлено 23.08.74с присоединением вт. свид-ву(51) М. Кл. 71 1) 2054888/18-10аявкиосударственный комитет овета Министров СССР(53) УДК 536,531(088 юллетеньпубликовано 30,03.76 ло делам изобретений и цтхрытиКата опубликования описания 18.05,7я Л. Н. Лариков, И. Д. Войтович, О, А, Шматко и В. Н, Сосницкий Институт металлофизики АН Украинской СС и Институт кибернетики АН Украинской СС(71) Заявител 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЪНОГ ЭЛЕМЕНТА ТЕРМОМЕТРА СОПРОТИВЛЕНИЯ0 мула изобр ения Спосмента щийся 30 умн о го изготовления чувст рмометра сопротивле нанесении пленки оло апыления .на диэлек вительного эле ния, заключаюва путем вакутрическую подИзобретение относится к области контактной термометрии.Известен способ изготовления чувствительного элемента термометра сопротивления, заключающийся в нанесении пленки олова,на диэлектрическую подложку путем вакуумного напыления.Однако чувствительность термометра сопротивления ограничена влиянием шумов и недостаточной крутизной зависимости сопротивления от температуры.Цель изобретения - повышение чувствительности термометра сопротивления.Для этого на диэлектрическую подложку наносят слой свинца, обрабатывают его поверхность холодной плазмой тлеющего разряда в атмосфере гелия, содержащей не более 0,02% кислорода, а затем после 40 - 70 мин выдержки слоя свинца в атмосфере гелия при давлении 5 10 -- 5 10 - 4 тор нагревают слой свинца и диэлектрическую подложку до 70 - 80 С и наносят слой олова с,последующей термической обработкой слоев свинца и олова при 50 - 60 С в течение 30 - 40 мин.На чертеже показан чувствительный элемент, изготовленный по предлагаемому способу, где 1 - диэлектрическая подложка, 2 - слой свинца, 3 - слой олова, 4, 5 - токо- подводы,Диэлектрическую подложку выполняют из слоя ситалла или другого изоляционного материала. Слой олова наносят с перекрытием слоя свинца, руководствуясь следующими соотношениями: О=а - 12 а и с(а, где а - длина слоя свинца; Ь - длина слоя олова, расположенного ,непосредственно на диэлектрической подложке; с - ширина слоев свинца и олова,При измерении падения напряжения на пленке олова непосредственно ниже Т свинца температурная зависимость электросопротивления имеет разкий скачок (до 260%). Величина эффекта тем меньше, чем длиннее участок оловянной пленки, При дальнейшем понижении температуры электросопротивление чувствительного элемента резко падает и при 3,87 К он переходит в сверхпроводящее состояние. Чтобы снова перевести чувствительный элемент в сверхпроводящее состояние необходимо его нагреть выше 7,2 К, а затем охладить до 3,87 К. Крутизна зависимости скачка сопротивления при понижении температуры составляет приблизительно 2600 ом/ /град.508688 Составитель А, Тереков Техред Г. Андреева Корректор О. Тюрина Редактор Т, Рыбалова Заказ 997/18 Изд.1213 Тираж 814 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр, Сапунова, 2 ложку, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности термометра сопротивления, на диэлектрическую подложку наносят слой свинца, обрабатывают его поверхность холодной плазмой тлеющего разряда в атмосфере гелия, содержащей не более 0,02% кислорода, а затем после 40 -70 мин выдержки слоя свинца в атмосфере гелия при давлении 5 10- - 5 10 4 тор нагревают слой свинца и диэлектрическую подложку до 70 - 80 С и наносят слой олова с последующей термической обработкой слоев свинца и олова при 50 - 60 С в течение 30 - 40 мин.

Смотреть

Заявка

2054888, 23.08.1974

ИНСТИТУТ МЕТАЛЛОФИЗИКИ АН УКРАИНС-КОЙ ССР, ИНСТИТУТ КИБЕРНЕТИКИ АН УКРАИНСКОЙССР

ЛАРИКОВ ЛЕОНИД НИКАНДРОВИЧ, ВОЙТОВИЧ ИГОРЬ ДАНИЛОВИЧ, ШМАТКО ОЛЕГ АНАТОЛЬЕВИЧ, СОСНИЦКИЙ ВЛАДИМИР НИКОЛАЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01K 7/16

Метки: сопротивле-ния, термометра, чувствительно-го, элемента

Опубликовано: 30.03.1976

Код ссылки

Способ изготовления чувствительно-го элемента термометра сопротивле-ния