Пленочный диод — SU 550066 (original) (raw)
Союз Советскин Социалистическин Республик) Заявлено 20.12.74 (21) 2085881/2 Н 01 3 29/12 присоединением заявк Гааудератванный немн СССР аа делам нзабратенн и аткрмтнйОпубликован Дата опубли кования описания 05 72) Авторы изобретени Кулюпини С, А. Непийк.л, а Ленина иве рситет Украинской ССР и Московскйй ордрасного Знамени государственный уним. М, В, Ломоносова ки АН ового Институт и ордена 71) Заявител(54) ПЛЕНОЧНЫЙ ДИО лектронике и может исехнике и микроэлектроелинейного элемента,ользоваться в ике в качестве и диод между пле. ами 2 распоеская пленка Известны тонкопленочные приборы, представяющие собой структуры, состоящие из одного 5 или более тонких слоев металла, полупро. пленка с быть полу.ноч под. чные бов, косомустанавливаю от него до и дианаполучетрика 15 разныхзлись он вышение радие температурн то го с что элекая на ди. чнымиеская д отличается тем,Предлагаемы трическим ве электрическу электродами вон стр пленки зобретение относится к твердотельной водника или диэлектрика 111.Наиболее близок к предлагаемому плный диод, содержащий диэлектрическуюложку, электрический вентиль и пленометаллические электроды %.Однако этот диод имеет низкую радиациную стойкость, небольшой температурньзон работы и; кроме того, технологияния тонких совершенных пленок диэлекдовольно сложная.Цель изобретения - поной стойкости, расширенидиапазона. нтилем. является нанесенню подложку между плендиспергированная металл ка, в которой размер островков и расстоямежду ними монотонно изменяются от од. ного электрода к другому,На чертеже изображен пленочньНа диэлектрической подложкеночными металлическими электродложена диспергированная металлнчс неоднородной структурой 3.Диспергированная металлическаявышеуказанной структурой можетчена различными способами.При одном из известных спосонапылении, точечный испарительтаким образом, чтобы расстояния участков поверхности подложки отликоличество вещества, а следовательно, островков н расстояния между ними, нно изменяются от одного электрода ому, При другом способе, перемещая в процессе напыления, получают пленку упенчато изменянипейся толщиной. Этузатем прогреванл ло образования остров уктуры. Диснергированные металлически изготовляют из золота, хрома или из66 4мость металлов и диэлектриков при облучении существенно не меняется, Свойства этойсистемы зависят от температуры, но интервалрабочих температур значительно расширяется(для пленок золота на стекле 4,2-600 К, адля пленок тугоплавких металлов, напримерхрома, 4,2 - 800 К),Формупа изобретения тавитель П. Торед З.ФантаКорректор Т. Скворцова дактор Т. Колодцева Покомитета СССи открытийскал наб д,4/ Заказ 6010/59 Тираж 923 ЩтИИПИ Государственного по делам изобретений 113035, Москва, Ж, Рауш"Патент", г. Ужгород, ул. Проектн 3 5500 других металлов, Так получают неоднородную диспергированную пленку золота, в которой размер островков от одного электрода к дру. гому изменяется от 20 до 200 А и расстояниямежду ними. - от 1000 до 20 А. Коэффициент5 выпрямления достигает Квыпр, 10 и внут. реннее сопротивление Ввнутр. = 10 мОм (Нвнутр, варьируется в пределах от десятков кОм до сотен мОм).В основе работы диода лежит эффект уни. 10 полярной проводимости диспергированных металлических пленок с указанной выше структурой. Известно, что проводимость диспергированных металлических пленок обусловлена туннелиро. ванием электронов через потенциальные барьеры между островками, буричем коэффициент прозрачности зависит от разности потенциалов между ними.Оказалось, что распределение потенциала в пленке с такой неоднородной структурои 20 зависит от полярности приложенного к ней напряжения, т.е. приводит к диодному эффекту, Прямым направлением тока является такое, при котором ток протекает от крупных островков к мелким, 26Радиационная стойкость предлагаемого пленочного диода достигается тем, что проводиПленочный диод, содержащий диэлектрическуюподложку, электрический вентиль и пленочные металлические электроды, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения радиационной стойкости, расширения температурного диапазона работы, а также уменьшениягабаритов, электрическим вентилем являетсянанесенная на диэлектрическую подложку междуэлектродами диспергированная металлическаяпленка, в которой размер островков и рас.стояние между ними монотонно изменяются отодного электрода к другому.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Зи С, М. Физика полупроводниковых приборов, "Энергия", М., 1973, с. 449-488,2. Патент США Яф 3643122, кл. 317 - 234