Криогенный вакуумный насос — SU 769080 (original) (raw)
Текст
О П И" СС.А Н И Е ИЗОБУЕТЕ Н И Я щ 769080 Союз Советских Социалистических Республик(45) Дата опубликования описания 07.10.8(71) Заявитель 4) КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСО 2 асос содержит ем внутри ох и жалюзийно им элементом Изобретение относится к вакуумной технике, а именно - к устройству криогенных вакуумный насосов.Известны криогенные вакуумные насосы, содержащие корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемых цилиндрического и жалюзийного экранов откачиваю 1 цим элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного хладагентом 11,Недостатком указанных насосов является неэкономичность при расположении насоса вблизи источников высокочастотного излучения вследствие проникновения излучения через жалюзийный экран, что приводит к повышенному расходу хладагента.Целью изобретения является повышение экономичности при расположении насоса вблизи источников высокочастотного излучения.Указанная цель достигается тем, что между жалюзийным экраном и сосудом установлена металлическая сетка, соединенная с цилиндрическим экраном через тепловой мост.На чертеже представлен продольный разрез насоса.".дйКриогенный вакуумный нкорпус 1 с размещенным в нлаждаемых цилиндрическогого экранов 2 и 3 откачивающ выполненным в виде сосуда 4, заполненного хладагентом 5, причем между жалюзийным экраном 3 и сосудом 4 установлена металлическая сетка 6, соединенная с ци линдрическим экраном 2 через тепловоймост 7.Насос работает следующим образом.Газ из вакуумной камеры через жалюзийный экран 3 и металлическую сетку 6 10 поступает к сосуду 4, где происходит егоконденсация. Основной тепловой поток из вакуумной камеры поглощается цилиндрическим и жалюзийным экранами 2 и 3. Высокочастотное излучение с эффективностью 15 порядка 95% и более отражается и частично поглощается металлической сеткой 6, имеющей температуру, близкую к температуре цилиндрического экрана 2, с которым она соединена через тепловой мост 7, Эф фективность отражения высокочастотногоизлучения сеткой 6 достигается выбором размеров ячейки сетки 6 не более половины длины волны излучения, При больших мощностях высокочастотного излучения повышение эффективности отражения достигается путем установления нескольких сеток.Кроме того, сетка 6, расположенная впространстве между сосудом 4 и жалюзий ным экраном 3, предотвращает попадание769080 хладагентом, отличающийся тем, что,с целью повышения экономичности при расположении насоса вблизи источников высокочастотного излучения, между жалюзий ным экраном и сосудом установлена металлическая сетка, соединенная с цилиндрическим экраном через тепловой мост.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1 О 1. Авторское свидетельство СССР392268, кл, Р 04 В 37/08, 1971. Составитель В, Кряковки Редактор Е. ректор А, Степанов ед И Пенчк чик Заказ 1997/16 Изд.497 НПО Поиск Государственного комитет 113035, Москва, ЖПодписи открытии Типография, пр. Сапунова опавшего с сосуда 4 криоосадка на экран 3, что может привести к повышению давления в вакуумной камере. Формула изобретения Криогенный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемых цилиндрического. и жалюзийного экранов откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного Тираж 729СССР по делам изобретенииРаушская наб., д. 4/5
Заявка
2655042, 31.07.1978
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8851
ДРУЙ ОЛЕГ САМОЙЛОВИЧ, СКИБЕНКО ЕВГЕНИЙ ИВАНОВИЧ, ЮФЕРОВ ВЛАДИМИР БОРИСОВИЧ
МПК / Метки
МПК: F04B 37/08
Метки: вакуумный, криогенный, насос
Опубликовано: 07.10.1980