Способ изготовления мишени для ионно-плазменного распыления — SU 1385639 (original) (raw)
Текст
ин СССР1984,СР982.НИ ДЛЯ ла м мишеи теми при-ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССС ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫ АВТОРСКОМУ СВИ 30.08.92. Бюл. 1 в 324126117/2118.06.86В.П,Кричков, В.Г,Подсух-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯИзобретение относится кнесения покрытий в вакут для повышения качестваИсходные порошки сушат иуре 200 С в течение 34(52)ти наслужиней,перат 801385639 готавливают смесь с компонентнымсоставом МеВБх, где Ме - тугоплавкие металлы УЧ-Ч 1 групп. Приготовленную смесь формуют под давлением30200 кгс/см и поджигают. Сразупосле воспламенения смеси порошковыхкомпонентов осуществляли прессование под давлением 5002500 кгс/смИспользование укаэанных параметровоперации формования и спекання позволило сократить время спекания компонентов мишени до 510 мин. Совмещение процессов спекания и прессования позволяет значительно увеличитьплотность получаемого материала мишени, 1 ил.Изобретение оэ носится к облястц 11 яГссе 1111 я покрытий в вакууме, я именно к ПГспоба 11 изготовления мишенейПЛЯ Ги.тяи Гн 1 ЦО-ПЛЯ.ГМЕЦЦОГО РГСГГЬИЕ- ц 1 с 11 оспелукяцм цяцесеццем тонких ГГППГГок ця цэдсцГЯ.Цеью цэобетеция является повь 1 111 с 111 е кячестпя лГП 11 еце 1 эя счет увеличец 11 я плотности компонентов ц повыше цце производительности процесса иэГотоцпецця эя счет совмещения операций прессования и спеканця компоцентоя,Па чертеже приведена схема ряснолокеГГця элементов оснастки прц осуществлении способа изготовления мцшецей, гдс показаны токоподнод 1,керамическая трубя 2 пянсон 3, матрица А 1, пороикон 11 е комГГоцецты 5, оправ" 20кя 6, подставка 7, опорный цилиндр8, ключи подключения питания 9 и 1 О.П р и м е г. Изготовлялись мишени ГГз следующих сочетаний элементовХ., и, " Т., Ч, В, Ы; Ег) В 181,Ис.ходцые порошки компонентов 5сушились в вакуумном сушильном шкафу при температуре 200 С н течение3-ч ч, Зятем приготовлялась смесьн соответствии с. компонентным составом Ие,11".1., где Ме - тугопланкиеметаллы .)7-71 групп, Весовое соотношецие компонентов определялось поцк ятоиц 1 м весам. Взвешенные порошкитц 1 ятельцо перемешивались в смесителе. Опранка 6 с внутренним диаметром60 мм, сл .жащая оболочкой мишени,изготонлялясь иэ сплава ВТ. Приготовленная смесь эасыпалясь в оправку6, вставленную н специальную прессформу. Затем проводилось формоняние,поджцг и прессовацце с одновременнымспекяццем ца 1 ЬО-тоннои прессе маркиДБ 232 Б в две стадии.Па первой стадии осуществлялосьформовяцце заготовки под давлением(30-200) кгс/см и поджиг смеси.Поджцг осу 1 ествлялся путеи разряда конденсатора,емкостью 200 мкф, заряженного до 3 кВ, через изолированныйтокопвод 1 в верхнем пуансоне 3Сразу же после подачи поджигающего импу 1 ься ця электрод и воспламенениесмеси лоро)пковых компонентон осуществляпц прессовяцие под давлением(.О - 500) кгс/си . После оксГнчация реакции высокотемпературного синтеэ продолжительностью не более"пп 1 ГГГец 1 иэвлекалясь иэ раэборцой прессформы, Общее время изготовления иии.еци момента формовянияЭЯГОТ 011 К 11 ПОДЖЦГс 1С 1 ЕКЯЦ 1%Я Ц ГГЭНЛР" чецця мишецц иэ прессформы состаВГГяло це более 10 миц, Образцы спеченного мате риала ис следов алис ь на дифрактомере ДРОНс целью определения фазового состава.ДГГяпаэон давления 30 - 200 кгс/см н момент Воспламенения смеси оптрмнэировяц экспериментально и определяется следующиии факторами, При начальнои давлении ниже 30 кгс/си вследствие высоких скоростей горения смеси наблюдается резкое возрастание остаточной.пористостн мишени, При давлении 200 кгс/см носпламенение сиеси затруднено вследствие достаточной высокой плотности и, соответственно, теплопроводности прессовки. Значение нижнего предела давления в процессе высокотемпературного синтеза 500 кгс/см обусловлено необходимостью обеспечения достаточной механической прочности и увеличения плотности мишени. Верхний предел дав-. ления в процессе высокотемпературного синтеза ограничен зцачениеи 500 кгс/см из-за угрозы расслоения материала мишени и соображений простоты реализации способа на распространенном прессовом оборудовании,Тем пература процесса спекания эанисит от нида экзотермической реакции син" тезя компонентов и определяется исходным составом порошковой смеси.Проведенный анализ показал, что плотность компонентов мишеней составляет 0,85-0,95 от теоретической Истинная плотность определяется методом гидростатического взвешивания.Индуциронание носпламенения смеси компонентов при давлении 30200 кгс/см и увеличение его до 500 - 2500 кгс/см в процессе экзотермической реакции саиораспространяющегося нысокотемпературного синтеза позволяют существенно сократить время спекания компонентов мишени до 5-10 мин. Совмещение процессов спекания и.прессования позволяет значительно увеличить плотность получаемого материала мишени. Формула изобретенияСпособ изготовления мишени для ионно-плазменного ряспылецГГя,включающий форионацце поп давпеиГе.1 заготоРедак ректор О.Куидр каз 3474 Подписиомитета СССРткрытийая наб., д, 4 Тиражнии 1 и государственного кпо делам изобретений и035, Москва, Ж, Раушс зво 11 ственно-полиграфическое предприятие, г. Упг ул Проект 1 я,РОК ИЭ ИОР 01 ПКОВ Х КОИО 11 ЕИ 1 ОР ИО 31жиг заготовки с иос 1 едуюшим ,1 екэниЕМ КОМП 011 ЕН ТОИ ПУТЕМ ВЩ 1 Е 1 ЖК И ЗЭтовки до прохождения реак исинтеза компонентов и охлажде-.ние, о т л и ч а ю в и й с я тем,что, с целью повищения качества мишеней за счет увеличения пло 1 Составитель О.Павлор Н,Коляда Техред М.КоданичОГ 1К О 11101 ОНТОР И ПО 111 НРРи 1 нолительисти процессэ, дэви Р 1 еи ри Формонании за го товкР м 1Рн 1н и ецелэх .30-200 кгс/см причемю .1под 1 киг осуществлякт в прси.с се фотмовэния, а в процессе спетаия прОР-.дят и рег сов яние заготовок под лэ Р е 2нием (500 - 2500) кгс/см
Заявка
4126117, 18.06.1986
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ М-5886, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Ю-9192
КРИЧКОВ В. П, ПОДСУХИН В. Г, САВОСТИКОВ В. М
МПК / Метки
МПК: C23C 14/36
Метки: ионно-плазменного, мишени, распыления
Опубликовано: 30.08.1992