Импульсная широкоапертурная лампа — SU 1792196 (original) (raw)
(зз) А 1 ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯЕННОЕ ПАТЕНТНОЕСССР (ГОСПАТЕНТ СССР) 2 СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБИКИ(71) Институт сильноточной электроники СО АН СССР; Научно-Исследовательский институт полупроводниковых приборов(56) Баранов В,Ю. и др, Злектроразрядные эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов. М: Энергоатомиздат, 1988, с 216.Авторское свидетельство СССР Й 80789 Э, кл. Н 013 61/80, 1979.Авторское свидетельство СССР М 78669 Э, кл; Н ОЦ 6180, 1981.Авторское свидетельство СССР Й 760240, кп. Н он 61/80, 1980(56) ИМПУЛЬСНАЯ ШИРОКОАПЕРТУРНАЯ ЛАМПА(57) Использование; в микроэлектронике для осуществления. фотостймулированных процессов на образцах большого диаметра. Сущность изобретения: импульсная широкоапертурная лампа содержит наполненную рабочей смесью разрядную камеру с выходным окном, Внутри нее размещены круглый катод, анод и иекровые промежуткй. Катод вы. полнен сплошным и имеет профиль, обеспечивающий формирование однородного электрического поля. Анод выполнен сетчатым с прозрачностью не менее 70% и с размером ячейки не более 0,1 от расстояния между катодом и" айодом. Искровые проме)какй расположены равномерно по краю катода. 2 ил,1792196Изобретение относится к технике им- подключенные к генератору накачки, сопульсных источников света и может быть гласно изобретению катод выполнен использовано в микроэлектронике для осу-сплошным, и имеет профиль обеспечивающествления фотостимулированных процес- щий формирование однородного электричесовнаобразцахбольшогодиаметра( 10 см 5 ского поля, а анод - сетчатым с и более). прозрачностью не менее 700 и с размеромИзвестны импульсные источники света ячейки не превышающим 0,1 от расстояния (лазеры), которые позволяю получать мощ- между катодом и анодом, выходное окно. ное импульсное излучение в ИУФ и УФ об- камеры установлено за анодом, система ластях спектра, используемые в 10 предыонизации снабжена дополнительнымикроэлектронике, содержэщие основные ми искровыми промежутками, искровые электроды; систему предыониэации, опти- промежутки расположены равномерно по ческий резонатор, Недостатком лазернцх диаметру катода, а расстояние между ними источников является их сложность и мень- не превышающем 1/4 диаметра катода.ший ресурс рабочей смеси по сравнению с "5 На фиг.1 схематически изображена лампами, т.к, в лампах используется спон- предлагаемая широкоапертурная лампа; на танное излучение, а в лазерах индуцирован-, . фиг.2- распределение йлотности мощности ное. Известны также ламповые источники иэлучеййя по сечению выходного пучка.света, которые используются в различных Лампа содержит генератор накачки 1, . областях науки и техники. Однако они име наполненную рабочей смесью а яй месью разрядную ют неравномерное распределение плотно- камеру 2 с выходным окном 3, размещенные сти мощности по выходному окну, а при внутри камеры 2 основнцеэлектроды,один достижении хорошей равномерности рас- " из которых сетчатый анод 4, а другой - кругпределении плотности мощности на облуча- лый профилированный и сплошной катод 5, емом объекте очень низкие КПД 25 искровые промежутки 6 системц предыониотносительно полезно используемой энер- зации; расположенные равномерно по краю гии. катода 5, Основные электроды 4 и 5 и искроНаиболее близким по технической сущ- . вые промежутки 6, подключены к генератоности к заявляемому устройству является ру накачки 1. Выходное окно Э камеры 2 искровой источник света, который содержит З 0 установлено за анодом 4.наполненную рабочей смесью раэрядйу 1 о . Импульсная широкоапертурная лампа камеру с выходным окном. В камере непод- работает следующим образом.вижно размещены высоковольтный катод изаземленный анод, система предыонизацииПри срабатывании генератора накачки с искровым промежутком, которые подклю- З 5 1 напряжение подается на основные электчены к генератору накачки. Недостатком роды 4 и 5, причем, на фронте импульса прототипа является неоднородность плот- йайряжения обострительные конденсатоности мощности. излучения по сечениЮ вы- ры. С генератора накачки.1 заряжаются чеходного пучка из-за того, что подобные рез искровые промежутки 6. Излучение от источники формируют сферический фронт 40 исКровых промежутков 6 обеспечивает за световой волны.: Счет фотоэффекта выбивание электронов с ниЦелью изобретения является увепиче- . поверхности. катода 5 и фотоионизациюе диаметра выходного пучка и улучшение бочей смеси в промежутке между основны-. однородности распределения плотности ми электродами 4 и 5; что позволяет между мощности выходного пучка по его попереч ними сформйровать обьемный разряд, Изному сечению.:лучение из обьемного разряда через сетчаУкаэанная цель достигается тем, что в: тыйанод 4 и.окноЗ выходитизлампы ввиде импульсной лампесодержащей наполнен- пучка с высокой однородностью плотности ную рабочей смесью разрядную камеру с мощности излучения по его сечению. Привыходным окном, размещенные внутри ка менение сплошного профилированного камеры круглый катод, анод и систему пред- тода 5 позволяет формировать однородный ыонизации с искровым промежутком, по сечению объемный разряд,Формула изобретенияком, подключенным к генератору накачИМПУЛЬСНАЯ ШИРОКОАПЕРТУРНАЯ 55 ки, отличающаяся тем, что, с целью ЛАМПА, содержащая наполненную рабо- увеличения диаметра выходного пучка и . чей смесью разрядную камеру с выход- улучшения однородности распределенияным окном, размещенные внутри каме- плотности мощности его по поперечноры круглый катод, анод и,систему му сечению, катод выполнен сплошным предыониэации с искровым промежут-;,;., и,имеет профиль, обеспечивающий форЗаказ 7 Подписноеиск" Роспатента,Ж, Раушская наб., 4/б роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгоро арина, 101 мирование однородного электрического поля, а анод - сетчатым с прозрачностью не менее 70% и с размером ячейки не превышающим 0,1 от расстояния между катодом и анодом, выходное окно камеры установлено за анодом, система предыониэации снабжена дополнительными искровыми промежутками и все искровые промежутки расположены равномерно по краю катода, а расстояние между ними не превышает 1/4 диаметра катода,