Устройство для измерения отношения скоростей поверхностной рекомбинации — SU 533892 (original) (raw)
О П И С А Н И Е п 11533892ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(22 сосдицециек Государственный комитет Совета Министров СССРБюллетень4 цсания 09.11.76 Опубл ло делам нзобрете и открытий Дата опубликования) Заявите овской ССР нстит ОРОСТЕЙ Я ОТНОШЕНИОМБИ НАЦИ а вольта мперцую ся повышение точпереме янных 5, измер ого ток 8, изме нного т ектрома 1 соеди нного токарезисторовяемогоа 7, разрительнока 10,гнитанен с п об- деого на. ертоя эл ка имеет малую чувствительность измерения из-за влия(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕН ПОВЕРХНОСТНОЙ РИзобретение относится к устройствам для определения электрофизических параметров полупроводниковых материалов, конкретно, для определения отношения скоростей поверхностной рекомбинации.Известны устройства для измерения отношения скоростей поверхностных рекомбинаций, содержащие источник тока, источник постоянного магнитного поля и измерительный прибор. Недостатком их является низкая точность при измерении больших отношений скоростей поверхностной рекомбинации.Известно устройство для измерения скоростей поверхностной рекомбинации, содержащее источник постоянного тока, источник постоянного магнитного поля, измерительный прибор.В этом устройстве отношения скоростей поверхностной рекомбинации находятся по точке пересечения двух вольтамперных характеристик образца, одна из которых измеряется при помещении образца в магнитное поле, которое ориентировано относительно электрического поля так, что носители тока отклоняются к стороне с малой скоростью поверхностной рекомбинации, другая вольтамперная характеристика образца измеряется в отсутствии магнитного поля,Это устройствоность и низкую точ нця контактных явлений нхарактеристику образца,Целью изобретения являетности измерений.Поставленная цель достиустройство введены источника, трансформатор, постоянрезисторы, разделительныйчем источник переменногопервичной обмоткой трансфточка вторичной обмотки кс корпусом, один конец обмтуемый образец, размещенмагнитном поле, соединенпеременного резистора, а дрки через резистор соединенпеременного резистора, покоторого соединен через реисточника постоянного токатор с измерительным прибоПринципиальная схема учертеже,Оца состоит цз источника1, трансформатора 2, посто3, 4, переменного резистораразца 6, источника постояннлительного конденсатораприбора 9, источника посмагничивающей обмоткиИсточник переменного то гается тем, что в к переменного тоный и переменный конденсатор, притока соединен с орматора, средняя оторого соединена отки через испыный в постоянном с крайней точкой угой конец обмотс другим концом движный контакт зцстор с выходом и через конденсаром.стройства дана ца10 15 20 25 вичной обмоткой трансформатора 2, средняя точка вторичной обмотки которого соединена с корпусом. Один конец вторичной обмотки через испытуемый образец 6, размещенный в постоянном магнитном поле электромагнита 11, соединен с крайней точкой переменного резистора 5, подвижный контакт которого соединен через резистор 4 с выходом источника постоянного тока 7 и через конденсатор 8 с измерительным прибором 9. Источник постоянного тока 10 подключен к памагничивающей обмотке электромагнита 11.Измеряемый образец 6 ориентирован относительно направления вектора напряженности магнитного поля так, чтобы в постоянном электрическом и магнитном полях носители тока отклонялись к стороне с малой скоростью поверхностной рекомбинации, т. е. чтобы наблюдалось уменьшение сопротивления образца,В случае, когда носители тока отклоняются к стороне с малой скоростью рекомбинации, наблюдается увеличение проводимости, которое, однако, при сильных электрических и магнитных полях исчезает. Величина магнитного поля Нр, при которой наблюдается исчезновение эффекта увеличения проводимости, зависит от отношения скоростей поверхностной рекомбинации, толщины образца и величины электрического поля. Отношение скоростей поверхностной рекомбинации определяется по формуле; - 2 сК (Ьо + д) Кср, (1)5,где д - толщина образца;К - коэффициент, зависящий от параметров полупроводникового материала (концентрации, подвижности носителей);Уо - постоянная составляющая падениянапряжения;У - переменная составляющая падениянапряжения. Постоянный и переменный токи, протекая через образец, создают падение напряжения на выходе моста Со+Усозк 1, переменная составляющая У, которого компенсируется при помощи переменного резистора 4, а постоян 30 35 40 4 д 50 наЯ составлЯ 1 ощаЯ (lр после Разделительного конденсатора не попадает на вход измерительного прибора 9.Включая цепь источника постоянного магнитного поля, на выходе получаем переменное напряжение с частотой электрического полям: К ОЬ Нр сов ш 1 (2) которое увеличивается с увеличением Е 1, однако с дальнейшим ростом магнитного поля оно уменьшается и при определенной его величине, равной Нр, становится равным О.Отношение скоростей поверхностной рекомбинации находится по величине магнитного поля, при которой переменная составляющая падения напряжения равна нулю, из отношения (1).Описываемое устройство более чувствительное, так как имеет избирательный выход и более точное, так как им измеряются не вольтамперные характеристики, на результаты которых влияют контактные явления, а зависимость выходного сигнала от величины магнитного поля, которая измеряется при одном значении электрического поля. Фор мул а изобретения Устройство для измерения отношения скоростей поверхностной рекомбинации, содержащее источник постоянного тока, источник постоянного магнитного поля и измерительный прибор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, в него введены источник переменного тока, трансформатор, постоянный и переменный резисторы, разделительный конденсатор, причем источник переменного тока соединен с первичной обмоткой трансформатора, средняя точка вторичной обмотки которого соединена с корпусом, один конец обмотки через испытуемый образец, размещенный в постоянном магнитном поле, соединен с крайней точкой переменного резистора, а другой конец обмотки через резистор соединен с другим концом переменного резистора, подвижный контакт которого соединен через резистор с выходом источника постоянного тока и через конденсатор с измерительным прибором.533892 Составитель В. НемцевТекред М. Семенов Корректор Т. Гревцова Редактор Н. Коляд дписиое Заказ 2 ГГ ппографпя, пр. Сапунова 15 Тираж 1 ЦНИИПИ Государственного компте по делам изобретениГ 113035, Москва, )К, Рау29а Совета Министраи открытийшская наб., д. 45
Устройство для измерения отношения скоростей поверхностной рекомбинации