548414 Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 28.06.74 (21) 2038379,08 М 1,- В 25. 13 02 с присоедн сннеч заязки Ье(23) ПриоритетОп блнкова 0 28.02.77. Бюллетень е 8 стс ОпчОликовс 1 ППЯннсднн 51 1 .О). 3 7 Государствениьи комите Совета Министров ССС 53) УД 621.86.0(088.8) по делам изобретений и открьтий(54) МАНИПУЛЯТО с)сяп секто зоор джени внд; на е обесп итсльног:д жссткии упПри освбождсн)н Изооретение относится к электронно)у хдшиностроению. Оно может применяться в фо- тОМЕЯНИЧЕСКОс И тЕХНОЛОГИЧЕСКО ОбарудО- ванин при производстве полуровдниковы приборов и ингегральнысс:.Известны чащшулят)ры, содсржацие приводы исполнитсльн)го органа по корднндтным осям и чсаннзч возврата в исдное положение, Однако у такого чанипулятора мсанз) возврата не обеспечивает тчноо пересцения исполнительного органа в исодное положение.Известен также )анп) лятор, со;1 сржанин корпус и рамку с приводами исполнительного органа по координатным осям, выпо 1 нсннцми в виде зубчатого сектора и чеанизча возврата в исодное пложенис. ИзвестныЙ чанип 3 лятор такжеечивает точности возврата испол 0 органа в исодное положение.С целью точного возврата исполнительного органа В исодное полжение чсд низ чы возврата выполнены в виде рычагов, закрс- ленныс Возчо)ность)0 поворота вокр) г ОссЙ рамки и корпуса соот)стствено и соединснны 3 ежду собой упругим элечснточ, нд зуочатыссктораустднОВлсны под 13 ижнь 1 с чп- ры, а на корпусе и рамке - .:сподвижныс упоры, оси оторырасположе:ы в одной плоскости с о ро(последний нд фиг, нс 3)к;зон).112 оси 11 рдсположен )чсдцизч 33)зргдПО ОД 1 ОЙ К)ОР;И 3 счГ)3)Й ОСИ. С)С Г 051 Н 3 Й И, дВчсВОООдцо си,ТЯПирыч 21 ОВ 1) и 13, )П 31- 15 рдюцися нд )естиц упор 1-1. здкрсплс:нынна р а.сс. Ры 1 я и 1 ) и 13, .сеж:у к 10;) ь 1 311 наодится подвижый упор 15, здкрсплс:;ый на се.торс, сж 2 ты упру ги элечен 1 ч 16.Иа оси 2 рдсположс 1 диалоги Ный 33 д - 20 НИЗ.с ЗОЗВРс 1 Тс 1 ПО ВТОсР)Й КООРД)11 с 1 Т 10 )С)1.УпраВлсннс Осу)цсствгЯстс 51 ру)5 тОЙ 17.Манинул 5)то) работает следуюпи:ск);зо)3.Прн )ТКГ)01 сн 1 )с К 51 ТИ 1 3 ВН;)2130, Зт б)- чатый сектр 5;с;)ного:риводд через зубч 25 Т 3 ю шссгс)н 0 7 ново:)дчивдст вдл 9 ис;1)г)- Те,Ь:300 орГасд. , Пр 10, Ндд)и,ийся зубчдточ сеТорс. 5, псрслкстьоч р,1 д д 1 взводит уп; гий элсчснт 161 ысд 13, ш р;юппйсярмкоя Гкн 1, но, Л(1 с )ч)нем1;)(1010 3.(10,1- Га 1, рыа) 12 Во:313;);)н(дс ГС 51 )3 исколнк ложсннс лО жсстко 0 ,П 01)д 1 (, 3 рис 1;ы(де 13 В 11 Ол 15(.Т )Ог д 301)Т)1,3(1")р(1. (О113 С 1 с ГВ СН Н О 13 03 13;) Д Н 1 Д О 1 С Я Ц Н С ; 0;10 С П 0 )1 0 )К С Н Н ( 3 б 31 тыЙ сск п)р 0 1 Г 9 1 сГ Пи Г(35)ь 10 органа,1 1 1) 1( )к л 0(11)к ( ) 51к 1 1 13 ) с 13 0 , ,( 01;- тый сскГор О, чсрсз:33 бчдю н;сс)ори 0 ( но- В 0 р а ч и 13 а с3 11 Г ( и с н О,3 11 сь н ( ) 0 ( н13 другую сторону.,( пор 10, д.ол 5 П 1 ПЙся н(1 3О 11 Го Сск)0- рс О, носрслстВ(,: 1 р 11 а д 13 ВЗ)30 лит 1 нр) П( элемент 1. Рь)чдг 12, 0:Прдюни)йся нд .ксг,П 1 Пор 14 Ос 1,1 с с; Псиолн 1)к:1 ы.1 ри освобождении р) коя Тки7 иол;(сйстВием упругого элсмснтд 1, рычаг 1:3 возврдн(астс 51 Вслно(. Пложснис ло )кс.т,Ого ми 0 р а 1 1 1 ) 1 ч с1) ы( г 1 2 В 1 1 л51 с 1 1)Г 1 амОРт)351 то(1. С01 В(.1 ст 1)сн) 1303 ВР(1 Гдютс 51 В ис.;ОлнОс ПОГ(ожснис змб 11 т 1 н с(1 Ор ) 31 13(1)1 9 ИСПО,1 ННС.Ч 1,НО 0 0)1 ДНД. 11)н)О Г и БО(3 р н не.;Олнос ноложснисн; л; 1 исполнительного Органа при лвиженн)10 второй координатной оси осушествля- (1. я а пало Пино..15)нипулято;), солер)капий корпус и рамкуб при)30;3ми исиолнгельного органа по коорЛнн(1 Пым Ос 51 м, Выполнснны 313 В (3 идс 3 бча ) 1 О 0 ССК 10 РД И С(11 Н)3:3:) 1303 ВРВТа В 130.ОДНГ)е ПОЛОЖСНИС, 0Л )3Г 10 1 Ц И Й С 51 ТЕМ, ЧТО, с 1(сл)по повышения точности возврата исполниГс)1 ьнОГО Ор 1 ана В ис.ол 1)ос п 0,10 жснис, мс- ),Г(;и:)мы воврата выполнены в виде рычагов, 13) зд креплен ны. с возможностью поворота вок)уг осей рамки и корпуса соответственно и соедн)сины. между сооой упругим элементом, причем на зубчдтык сскторак установлены подвижныс упоры, д на корпусе и рамке - )О неподвижные упоры, оси которык расположены 3 ОЛПОЙ нлос 1,Ости с ОС 51 ми сскторОВ 13 Н О,( 31 Ж Н Ы.; 3 П О Р ОВ.Составитель С. НовикГ. Кузьмина Тскрсд И. Кардндагновд К. рпск 1:н В. Яковле еда Заказ 12536ЦНИИПР Под;гампСР иогпдфия. пр. Сдпкнова, 2 Изд. М 1.18 Государственного копо делам изоорс 113035, Москва, гК1:рдгк 1ттд Совета .1 нннстрови 1 и открытийз,унскя ндЙ., д 4,5