Состав для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция — SU 998601 (original) (raw)

-:.4, Ъ нинградский ордена Ленина эл им. Э. И. УльяноваВ ДЛЯ ОЧИСТКИСТАЛЛОВ Т ОВЕРХНОСТИ ТА СТРОНПИ,Я при состава сос-.мые компонентыстепень очистта тана ысок жение токсичповышение кадостигается тем,и поверхности мостронция, сопержатворнтель, дополрекись водородарганнческого рвсткислоту при сле мпонентов, мас предлагаемомути является состав,1Изобретение относится к алектронной технике и может быть использовано, нам ер для изготовления нелинейных: конденсаторов (НК), работающих при криогенных температурах.В современной электронной технике . для изготовления НК используются цонокристаллические пластины титаната стронция. При изготовлении НК одной иэ важ-. ных операций является удаление .механических загрязнений на поверхности после резки монокристаллов на пластины, их шлифовки и полировки,Известно, что диэлектрические характеристики НК в значительной степени зависят от способа очистки поверхности монокристаллов, так как после самой тщательной механической обработки монокристалла всегда остается поверхностный слой загрязнений,который суйест венно снижает диэлектрические характерристики НК.Наиболее близким кпо технической сущнос 2для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция, включаквпий органические растворители: толуол, ацетон, иэопропиловый спирт и четыреххлористый углерод, в которых кристаллы обрабатывают последовательно прн температуре кипения растворителя 1 1,Недостатки известнотоят в том, что примениогнеопасны н .токсичныки поверхности монокрисстронция недостаточно в11 ель изобретенияности и .огнеопасности ичества очистки,Поставленная цельчто состав для очисткнокрнсталлов титанатащий органический расннтельно содержит пен воду, а в качестве оворителя вщавелевуюдующем соотношении ко3 Щ авелевая кислота ПерекисЬ водорода Вода Отпадает необходимость в специальномоборудовании (вытяжной шкаф с вентиляцией, устройство для обработки кристаллов, парами четыреххлорис того углеу рода), так как четыре токсичных и огнеопасных растворителя заменяются однимбезвредным и безопасным в работе водным раствором щавелевой кислоты и перекиси водорода,1 Ф П р и м е р, Очистку поверхностимонокристаллов титаната стронция посленарезки их на пластины, шлифовки и полировки проводят в кипящем водномрастворе щавелевой кислоты и перекисиводорода,Составы растворителей и диэлектрические характеристики НК, изготовленныхиз монокристаллических пластин титанатастронция обработанных этими раствора,ми, представлены в таблице,1,6-40,5О, 37-2,25Остальное Диэлектрические характеристики НК Тавгенс диэлектрических потерь Составраствора Содержание, мас,% Управляемостьмкость,пф Щавелеваякислота 1,63 Перекисьводорода 2,25 45 10"ф 3, 33 Вода Ос тальное Щавелеваякислота 3,37 6120 Перекись водорода 28.10 2,9.1,5 0,37 ВодаОстальное Щавелеваякислота 40,5 Перекись водорода 55.10 " 2,9 1,47 52 70 7,2 Вода Остальное Предлагаемый состав обеспечивает 33 требуемую чистоту поверхности монокристаллов, необходимую для изготовления конденсаторов с высокими диэлектричессен. Концентрация црвелевой кислоты в растворе должна быть в пределах 1,6-405 мас,%, перекиси водорода, 0,37-2,25 мас. %, При меньшем содер жании компонентов в растворе состав теряет свою активность. При превышении указанной концентрации одного из компонентов раствор взаимодействует не толь,ко с адсорбированным слоем загрязняющих веществ, но и с самим кристаллом, превращая его полированную поверхность в матовую, После обработки такими составами кристаллы непригодны для, прнготовления из них конденсаторов, поэтому их диэлектрические характеристики получить невозможно. Диэлектри- гистерезисческий, % кими характеристиками, и безвреден и безопасен в работе, .тогда как применяемый состав токсичен и огнеопаЗаказ 1087/49 Тираж 368 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам, изобретений н открытий 113035, М осква, Ж, Раушская набд, 4/5филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 формула изобретенияСостав для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция, одержааий органический растворитель, о тл и ч а ю ш и Й с я тем, что, с целью снижения токсичности и огнеопасности и повышения качества очистки он дополнительно содержит перекись водорода и воду, а в качестве органического растворителя - щавелевую кислоту при следукипем соотношении компонентов, мас. %: 98601 4Ш авелевая кислота 16-40,5 Перекись водорода0,37-2,25 Вода ОстальноеИсточники информапии,принятые во внимание при экспертизе1. Каратун Л. Т., Климов В. А., иЛихолетов Ю . В. Изготовление М ДМструктур, на основе монокристаллов1 ф титаната стронция. Известия ЛЭТИим. В. И. Ульянова (Ленина), 1980,вып. 279, с. 66 (прототип,

Смотреть

Состав для очистки поверхности монокристаллов титаната стронция