Способ контроля сферических поверхностей объективов — SU 1578551 (original) (raw)
ОЮЗ СОВЕТСКИ ОЦИАЛИСТИЧЕСНИРЕСПУБЛИК С 01 М1/00 В 9/О ИСА ЕЛЬСТВУ ОРСКОМУ СВИ ого прироля Фар Цель жности и сла конт б ккоторых с ентаинтрогфронстен ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОБЬЕКТИВОВ(57) Изобретение относится к приборостроению, а именно к способам контроля сферических поверхностей объективов, и может быть использовано впроизводстве прецизионных объективов Изобретение относится к приборо- троению, а именно к способам контоля сферических поверхностей объективов, центр кривизнь овмещен с Фокусом,Целью изобретения является повышение надежности контроля путем увеличения числа контролируемых точек и упрощение его процедуры.На Фиг. 1 изображена схема контроля объективов в интерферометре Физо; на фиг.2-4 - взаимная ори ция объективов при снятии интеферограммы А, В и С соответственно.В схему контроля входят автокол- лиматор 1 интерферометра Физо, контролируемый объектив 2 со сферической поверхностью 3 и контролируемыйдругих областях оптиче оростроения, требующих коы сФерических поверхностезобретения - повышение наонтроля путем увеличения оолиоуемых точек и упрощение процедуры контроля. Это достигается тем,что один иэ объективов в схеме контроля разворачивают вокруг оси, проходящей через центры кривизны, перпендикулярно оптической оси, на угол,составляющий 50-100% от значения вы- .ходного апертурного угла, регистрируют интерферограммы при таком положении объективов и определяют суммарную разность хода для границы интерФеренционного поля в полученной таким образом интерферограмме, которую учитывают при обработке. 4 объектив 4 со сферической поверхнстью 5. Предлагаемыи способ осуществляюследующим образом,Сначала устанавливают в схемеинтерфероматра Физо объективы 2 иконтролируемыми поверхностями 3 инавстречу друг другу так, чтобыих оптические оси совпадали. Вточке 0 совмещают фокусы объективо2 и 4, которые также совпадают сцентрами кривизны поверхностей 3 и автоколлиматоре 1 регистрирук 1 т ференционную картину (интерфемма А), образованную волновым ами, отраженными от поверхно и 5 (по нормали к ним), Для этой интерферограммы определяют суммарную разность ходаЧ (гд) = Ы (г,сд+ М (г, -ц), (1) где М (г,) - двумерные Функции,описывающие отклонение от сферичности поверх- ностеР 3 и 5 соответственно в полярноР системе координат, полюс ко-.торой совпадает с оптической осью объектива.После регистрации интерферограммы А один из объективов, например объектив 4, разворачивают вокруг оптической оси на произвольный угол и затем регистрируют следующую интерферограмму В, Для нее определяют суммарную разность ходач,(г,р = И,(г,ц)+ У (г, - с-ч), (2)где- величина разворота объектива,Затем объектив 4 разворачивают вокруг точки 0 так, чтобы оптические рси объективов 2 и 4 образовали угол, с вершиной в точке О. При этом происходит смещение зрачков объективов друг относительно друга. Оптимальным является смещение зрачка на 50-757, от светового диаметра (что соответствует развороту на 50-1 003 от зна - чения апертурного угла) . Смещения на больший угол приводят к значительному уменьшению интерференционного поля, а смещение на меньший угол не позволяет выявить низкочастотные составляющие в спектре искомого отклонения от формы. Интерференционную картину при этом наблюдают только в области пересечения зрачков, ее регистрируют, получают ингерферограмму С, и определяют суммарную разность хода для границы интерференционного поля Ч(х,у) = 6 Г,(х,-1, у)+ У,.(х, -у) (3)где У, (г,(Р) ил (х 1 У) связаны соотношениями:1И, (г ;ср,) + 11, (г у,) = Ч .(г, ф,г соз (= х, г,81 п Ч, УИз уравнений (1), (2) и (3) составляют систему, решая которую можно получить инФормацию об отклонениях .11,(гЧ) и Ч(г, поверхностей 3 и 5 от Формы идеальной сФеры. Формула, изобретенияСпособ контроля сФерических поверхностей объективов, заключающиРся в том, что для объектива устанавливают соосно в схеме интерферометра Физо контролируемыми поверхностями навстречу друг другу, совмещают их фокусы, регистрируют интерферограмму А, поворачивают один объектив вокруг оптической оси, регистрируют интерферограмму В, определяют суммарную разность между поверхностями путем совместной. обработки интерферограмм, контролиру-. ют поверхности объективов по суммарной разности хода, о г л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности контроля путем увели- . чения числа контролируемых точек и упрощения егопроцедуры, после регистрации интерферограммы В разворачивают один из объективов вокруг оси, проходящей через центр кривизны поверхности перпендикулярно оптической оси на угол, составляющий 50-1 ООЕ от значения выходного,апертурногоугла, егистрируют интерферограмму С, допол нительно определяют суммарную разность хода между поверхностями по интерферограмме С и суммарную разность хода определяют с учетом интерферограммы С.1578551 Составитель А, ВольновРедактор А, Лежнина Техред М.Ходайич Корректор С.Шевку Заказ 1909 ВНИИПИ Государ одписное Т СС изводственно-издательский комбинат "Патент", г; Ужгород Гагарина, 1 Тираж 447венного комитета по изобретениям113035, Москва, Ж, Раущская на открытиям при Г д. 4/5