Устройство для измерения линейных перемещений — SU 1739193 (original) (raw)
)5 0 01 В 21 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Института мааиравоваецов, В.А,Седель;в В,А. Современомегры. Новосивторское свидетельство С3055, кл. 6 01 В 9/00, 1980 ГОСУДАРСТВЕННЫ Й КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ 8 У,; ) 1 Нука Я 1 УС ЯД/СтВО Д ПЯ И 1 Я".РЕНИЯнейных перечещгний 57) Изобретение относится к измеритель ной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений различных объектов. Целью изобретения является расширение диапазона измерений. Цель достигается тем, что в устройство введен набор интерферометров, расположенных вдоль одной прямой и подключенных к источнику 1 через коммутатор 3,соединенный с блоком 11 регистрации, и над опорными плечами интерферометров нанесены электропроводящие покрытия 14, подключенные к источнику 13 напряжения, а над другим плечом интерферометра, параллельно его плоскости, расположена подвижная электропроводящая пластина 12, жестко связанная с перемещающимся объектом. 2 ил.. Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений различных объектов.Известно интерференционное устройство для измерения линейных перемещений ИПЛ-ЗО, содержащее источник когерентного излучения, систему зеркал, образующих интерферомвтр, блок регистрации.Недостатком этого устройства является большая чувствительность к вибрациям деталей и зависимость результатов измерения от температуры, влажности и загрязненности воздуха.Наиболее близким к предлагаемому изобретению является устройство для измерения перемещений, содержащее последовательно установленные источник когерентного излучения, планарный интерферометр, блок регистрации и плоский чувствительный элемент с электропроводящей поверхностью.Недостатком этого устройства является малый диапазон измерений линейных перемещений.Цель изобретения - расширение диапазона измерений.Предложенное устройство за счет расположения набора планарных интерферометров вдоль одной прямой позволяет осуществлять измерение линейных перемещений в широком диапазоне, Использование планарных интерферометров позволяет умекьшить влияние температуры, исключить влияние влажности и загрязненности воздуха на результаты измерений,Поставленная цель достигается тем, что устройство для измерения линейных перемещений, содержащее источник когерентного излучения, планарный интерферометр, блок регистрации, подключенный к нему, и плоскую электропроводящую пластину снабжено(п-Ц-м планарным интерферометром, коммутатором, установленным на выходе источника излучения, приемником излучения, оптически связанным с источником излучения, источником напряжения, планарные интерферометры выполнены с блоком отражателей в измерительном плече и электропроводящими покрытиями над опорными плечами, блоками регистрации с дополнительными информационными входами и управляющим выходом, подключенным к коммутатору, интерферометры, расположены последовательно в одной плоскости и оптическими входами соединены с выходом коммутатора, а выходами - с информационными входами блока регистрации, к основному информационному входу которого подключен приемник излучения, злектропроводящая пластина установлена с возможностью перемещения вдоль планарных интерферометров и предназначена для связи с объектом, продольный размер пластины превышает продольный размер интерферометра, а поперечный размер соизмерим с поперечным размером блока отражателей, а электропроводящие покрытия 10подключены к источнику напряжения На фиг,1 схематически представлено предлагаемое устройство; на фиг.2 - график зависимости нормированных сигналов с иктерферометров от координаты электропроводящей пластины,Устройство состоит из источника 1 когерентного излучения, расположенных за ним последовательно полупрозрачного зеркала 2 и коммутатора 3, расположенного на пути луча, отраженного полупрозрачным зеркалом 2 фотоприемника 4 Коммутатор 3 соединен с помощью световодов 51,525 с расположенными на одной прямой интерферометрами, каждый из которых состоит из полупрозрачного зеркала 61,626 системы непрозрачных зеркал 71,72.,7 п,81,82.8 п и полупрозрачного зеркала 91.,9 п, расположенного на пересечении лучей, отражекньх последними зеркалами иэ системы 81,82,8 п с лучами, прошедшими через полупрозрачные зеркала 61,626 П за зеркалом 91,9 расположен фотоприемник 101,10. Последние подключены к блоку регистрации. Вплотную к планарному световоду прижимается злектропроводящая пластина 12, длина которой превышает длину иктерферометра, пластина подключена к источнику 13 напряжения. Устройство работает следующим обраэом.Луч от источника 1 когерентного излучения попадает на полупрозрачное зеркало 2, где часть его отражается на фотоприемник 4. Прошедший луч попадает на коммутатор 3, когорый вводит его в один из световодов 51,52, ,5. Выходы световодов пОдходят к одному из планарных интерферометров,Рассмотрим работу одного из них, После выхода из световода 5 луч попадает в планарный световод, делится полупрозрачным зеркалом 6; прошедший луч отражается от системы зеркал 7 и 8 и на полупрозрачном зеркале 9 интерферирует с отраженным от зеркала 6 лучом, затем попадают на фотоприемник 10. Величина зле"трического сигнала на выходе фотоприемника 10 Зависит от координаты электропроводящей пластины следующим образом:1739193 К Составитель В,БирмаТехред М,Моргентал Редактор С,Патру рректор М.Шароши аказ 1995 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям 113035, Москва, Ж, Рауаская наб., 4/5 КНТ СССР 1 роизводственно-издательский комбинат "Патент", г. ужгород, ул, Гагарина, 101