157015 — Метка (original) (raw)
157015
Номер патента: 157015
Опубликовано: 01.01.1963
МПК: H01L 21/66
Метки: 157015
...па Основе по- лиВипРОВОГО спирта с дооаВкой двуххромОВОГО аъмлппя В качестве ОчуВствляюшеГО вещсстВа, Такая пле 1 ка Рмсет хорсшу 10 адГези 10 с Г 10- лупроводпиковой труокой. ПОкрыта 1 свсточувствР 1 те;ьпо плен(01 тр, О- ка скреп;яется с на 1 з Ркпых 1,3 и вп треп:11 4 фотошаолопаи. 11 а фотошаблопы нанесен н рельеф - чередую:циеся непрозрачные (за ерпеппые) и прозрачные полосы заданной ширины, расположеи Гараллельпо оси трубки,Экспон светочувствительной пленки производится через фотошаблон при одинаковой освещенности снаружи и изнутри трубки, На освещенных участках светочувствительпоп плспкн производится процесс сВстОВОГО д Олсния, ОоусловлР 1 ВВ 101 ций нерастворимость этих частков пл нки в ооы Иых для нсе растворителях (воде)....