•4мурймi — Метка (original) (raw)

Всгсоюзная -т-игф •. •4мурймi л й г rtu s а«” s “dhb. woteka

Номер патента: 312426

Опубликовано: 01.01.1971

Метки: dhb, woteka, а, всгсоюзная, т-игф, •4мурймi

...трубопровод для подачи газа. Это повышает производительность труда и увеличивает адгезию пленок к подложке.На чертеже изображено предложенное уст ройство, общий вид.Устройство включает вакуумную камеру 1, внутри которой расположены электроды, выполненные в виде катушки индуктивности 2, изготовленной из напыляемого материала, на 20 продолжении оси которой расположен трубопровод 3 для подачи газа.Напряжение высокой частоты подается с генератора 4 через повышающий трансформатор б на катушку индуктивности 2. Частоту 25 генератора 4 можно изменять емкостью 6 в пределах от 2 до 30 мги. Генератор 7 постоянного тока высокого напряжения подключен своим отрицательным полюсом к покрываемой детали 8, а положительным полюсом - к стенке вакуумной...