Кремний-двуокись — Метка (original) (raw)
Патенты с меткой «кремний-двуокись»
Способ получения структур кремний-двуокись кремния-нитрид кремния
Номер патента: 1093175
Опубликовано: 23.04.1988
МПК: H01L 21/318
Метки: кремний-двуокись, кремния, кремния-нитрид, структур
...улучшения элекФрофизических параметров структур.Давление в реакторе при отжиге более 2 атм приводит к нарушению герметичности кварцевого реактора и невозможности реализации процесса. Использование металлических реакторов приводит к загрязнению структур ионами металлов и взаимодействию аммиака с материалом реактора при повышенной температуре процесса. Эксперименталь 35 ио показано, что отжиг структур при давлении аммиака 1-2 атм улучшает электрофизические параметры структур только при продолжительности отжига не менее 30 мин.Под улучшением электрофизических характеристик понимается увеличение крутизны вольт-фарадных характеристик структур Бх - ЯО- БхэМ, что является следствием уменьшения флуктуаций заряда и уменьшения величины...
Способ обработки структур кремний-двуокись кремния
Номер патента: 1031367
Опубликовано: 10.11.1999
Авторы: Вершинина, Герасименко
МПК: H01L 21/263
Метки: кремний-двуокись, кремния, структур
Способ обработки структур кремний - двуокись кремния, включающий термообработку структур в интервале 200-300oC и одновременное облучение электронами, отличающийся тем, что, с целью пониженного избыточного положительного заряда в структурах, облучение осуществляют электронами энергией 0,18-3,5 Мэв дозой 1014-1015 эл см-2.