Rc-интегральных — Метка (original) (raw)

Способ изготовления rc-интегральных схем

Номер патента: 323085

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Бразалюк, Львов, Понкин, Фарбовска

Метки: rc-интегральных, схем

...дированием, отличающийся тем, что, получения малогабаритных низкоч интегральных схем и обеспечения защиты алюминия при оксидировании стве защитного слоя используют оки ния. ых схем, и на кеы на осиз алюолучевой им оксис целью астотных адежной , в качеь гермаИзобретение относится к технике получ ияКС-интегральных схем, применяемых в р д оэлектронной аппаратуре,Известен способ изготовления КС-интегральных схем, основанный па поочередном нанесении на керамическую подложку элементовсхемы на основе тантала и технологическогослоя из алюминия и использующий электроннолучевой метод нанесения тантала с последующим оксидированием. 1Целью изобретения является получение малогабаритных низкочастотных интегральныхсхем и обеспечение надежной защиты...