Емельянников — Автор (original) (raw)

Емельянников

Способ создания многослойных контактных систем

Номер патента: 1195849

Опубликовано: 15.06.1994

Авторы: Алейникова, Емельянников, Родионов, Сутырин, Федоров, Хриткин

МПК: H01L 21/28

Метки: контактных, многослойных, систем, создания

СПОСОБ СОЗДАНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ КОНТАКТНЫХ СИСТЕМ, состоящих из базового слоя из окисляемого металла и основного слоя, содержащего по крайней мере один неокисляемый металл, включающий ионное травление основного слоя в смеси кислорода и инертного газа через защитный слой из окисляемого металла и химическое травление базового и защитного слоев, отличающийся тем, что, с целью повышения точности воспроизведения размеров элементов, перед химическим травлением с поверхности базового и защитного слоев удаляют окисленный слой ионным травлением в среде инертного газа.