Фишель — Автор (original) (raw)
Фишель
Способ изготовления изоляции элементов интегральных схем
Номер патента: 1340500
Опубликовано: 20.04.1996
Авторы: Даниелян, Евдокимов, Зайдлин, Манжа, Фишель
МПК: H01L 21/76
Метки: изоляции, интегральных, схем, элементов
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗОЛЯЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий формирование в кремниевой подложке сплошного скрытого слоя, наращивание эпитаксиального слоя, осаждение маскирующих пленок, формирование в них окон, вытравливание в эпитаксиальном, скрытом слоях и в исходной подложке канавок, формирование в канавках диэлектрического покрытия, удаление его с дна канавок, противоканальное подлегирование дна канавок, осаждение двуокиси кремния, удаление двуокиси кремния с изолирующих областей и частично с канавок, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления изоляции элементов за счет снижения требований к профилю канавок и повышения выхода годных интегральных схем путем устранения пустот в канавках, осаждение двуокиси...
Устройство для получения слоев из газовой фазы
Номер патента: 1334781
Опубликовано: 20.04.1996
Авторы: Даниелян, Евдокимов, Манжа, Патюков, Фишель
МПК: C30B 25/00
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, включающее реактор в виде горизонтальной трубы с отверстиями, равномерно расположенными на ее стенках, и установленные коаксиально реактору камеру подачи в него газовой смеси, снабженную патрубком, и нагреватель, отличающееся тем, что, с целью уменьшения дефектности и разброса толщины осаждаемых слоев, реактор снабжен патрубком для дополнительного ввода газовой смеси, а отверстия выполнены в виде продольных прорезей, причем отношение площади прорезей к площади сечения камеры подачи равно 0,05 0,1.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что отношение ширины прорези к расстоянию между краем пластины и внутренней стенкой реактора удовлетворяет выражению0,045
Способ изготовления межсоединений интегральных схем
Номер патента: 1695777
Опубликовано: 30.07.1994
Авторы: Загороднев, Кузнецов, Сулимин, Фатькин, Фишель, Шишко
МПК: H01L 21/28
Метки: интегральных, межсоединений, схем
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕЖСОЕДИНЕНИЙ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий формирование на подложке с активными и пассивными элементами проводников, формирование межуровневой изоляции путем нанесения первого диэлектрического слоя, сглаживания рельефа и нанесения второго диэлектрического слоя, формирование межуровневых окон и проводников верхнего уровня, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и выхода годных изделий, первый диэлектрический слой наносят толщиной 0,6 - 0,8 толщины межуровневой изоляции, а сглаживание рельефа осуществляют методом магнетронного ВЧ-распыления части первого диэлектрического слоя в среде аргона или удельной мощности на подложке 0,7 - 3 Вт/см2, давлении 1 - 4
Способ формирования металлизации межсоединений для интегральных схем
Номер патента: 1707995
Опубликовано: 30.07.1994
Авторы: Валеев, Глебов, Железнов, Кузьмин, Лезгян, Фишель, Хрусталев
МПК: C23C 14/35
Метки: интегральных, межсоединений, металлизации, схем, формирования
...камере держать относитезльно высокое рабочее давление (7 10 - 1 10) мм рт.ст, и обеспечивать откачку диссорбированных атомов гаэоотделения со стенок рабочей камеры при значительном их нагреве во время процесса распыления сплавной мишени АТ 0,5, для стабильности режимов распыления подбирают размер щели между рабочей и общей камерами или в камере делают калибровочное отверстие, чтобы одновре 10 15 20 25 30 35 40 менно обеспечить сопротивление газовому потоку откачки и выдержать необходимый перепад давлений. При этом необходимо отрегулировать подачу плазмообраэующего Аг и откачку потока газоотделений, при этом необходимым условием является Ррвб.квмерыРдегвзвции+ Р дг где РдгРдегазвций активных примесей, в составе Рдегвзвции пик М 2 должен...
Способ крепления полупроводникового кристалла к корпусу
Номер патента: 1781732
Опубликовано: 15.12.1992
Авторы: Барановский, Лискин, Розинов, Фишель
МПК: H01L 21/58
Метки: корпусу, крепления, кристалла, полупроводникового
...с выступающими из фольги острыми вершинами алмазных зерен, При приложении к кристаллу давления вершины алмазных зерен ввиду своей высокой твердости внедряются в слой естественного окисла на обратной поверхности кристалла,и прикалывают ее с образованием трещин в слое, При колебательном движении кристалла пленка окисла разрушается на мелкие кусочки. В результате этого поверхность кристалла полностью очищается от окисла,э между посадочной площадкой корпуса и обратной поверхностью кристалла образуется равномерный по толщине и не имеющий разрывов и пустот слой эвтектики золото/кремний, Равномерность толщины эвтектичного слоя обеспечивается за счет кэлибрующего эффекта э 41 эзных зерен, В результате применение заявляемого способа...
Установка для исследования клеток в суспензии под микроскопом
Номер патента: 1707069
Опубликовано: 23.01.1992
Авторы: Длугач, Кошевой, Фишель
МПК: C12M 3/00
Метки: исследования, клеток, микроскопом, суспензии
...это входной и выходной 5 клапаны),Кроме того, анализ клеток может осуществляться в потоке культуральной суспензии через проточнУю кювету другими известными анализаторами, например, построенными на базе ФЭУ с щелевым зондом (не показан),Средство 10 пипетирооания представляет собой наконечник с малым внутренним диаметром (типа иглы). Под действием давления, создаваемого насосом струя, суспензии клеток направляется на внутреннюю стенку емкости для разбива и разрушения клеточных конгломератов, возникающих в процессе исследований.Второй режим - работа установки в режиме динамической очистки циркуляционного контура суспензионной жидкостью (фиг, 1).Работа установки аналогична первому режиму, однако вэтом режиме насос 7 включают на...
Устройство для перемешивания жидкостей
Номер патента: 1517986
Опубликовано: 30.10.1989
Авторы: Зыбин, Подольский, Фишель, Щербинин
МПК: B01F 5/00
Метки: жидкостей, перемешивания
...и ицтс нсификапии прлшивация в вертикальной ЛОСКИ ГИНа чртжс слн мзтичцо изображено х ст- РО ит В О,(г( 51 ц ( Р л и 3 и В 3 н и Я; к и Л к н 1иУстройство солржит корус, выполненцьй в Ви;е трубы 1 с отверстиями для выхода сжатого нозлуха, и гибкие п)лые элементы 2, выолнеццые ( црс меннь(м сечением, црикрпленные к отврстиям корпуса. )хорус, ВьИогНеццьй в ниле трубы, помещен в ванну 3, ззполщ нную жилкостьн Говрхцнть жи;кости и в;1 и и грац(;3 в(рхцих торцов гибких В,ых элмецтов Обр;.(х нт )Вбочий обгь( м н н м( шиваемой жилкости 4Устройство работает следующил образом.Сжатый воздух из системы о тупзст н верхний конец трубы 1 через прерыватель цолзчи сжатого нозлуха, затем В е нижнк)н) часть( -- (1-1 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО...
Способ монтажа сборных из блоков пролетных строений мостов и сборочный агрегат для его осуществления
Номер патента: 1350232
Опубликовано: 07.11.1987
Авторы: Луговой, Постолова, Фишель
МПК: E01D 21/00
Метки: агрегат, блоков, монтажа, мостов, пролетных, сборных, сборочный, строений
...выполнены в виде коробчатых балок 26 с поперечными связями 27 и опорными кронштейнами 28, снабженными шарнирами 29 и опорными пятами 30, опертыми на подколонники 31 опор 32 моста.Монтаж блока 1 пролетного строения 5 плитно-ребристой конструкции осуществляют следующим образом.Предварительно траверсу 5 стропят грузоподъемным механизмом в точке пересечения стропов 11, при этом захваты 8 раскры ваются и траверсу 5 устанавливают на монтируемый блок 1, находягцийся на стройплощадке, так, что захваты 8 охватывают блок 1 с обеих сторон. Затем траверсу стропят за ось 13 главного подвеса, поднимают монтируемый блок 1 и устанавливают его на под мости 14 сборочного агрегата 3 в положение, параллельно проектному положению блока. При этом один из...
Передвижная опалубка для замоноличивания стыков железобетонных плит блоков пролетных строений
Номер патента: 1099024
Опубликовано: 23.06.1984
Авторы: Анисимов, Власов, Евдокимов, Корницкий, Фишель
МПК: E04G 11/40
Метки: блоков, железобетонных, замоноличивания, опалубка, передвижная, плит, пролетных, строений, стыков
...строений, включающаяраму, секции шитовой опалубки натяжНое устройство и механизм перемещения. снабжена Г-образными рычагамис пальцами, а натяжное устройство выполнено в виде рукоятки и шарнирнойтяги состоящей из звеньев с овальными отверстиями, в которых расположены пальцы Г-образных рычагов.На фиг. 1 изображена передникнаяопалубка в стадиибетонирования, про"дольный разрез, на Фиг. 2 - разрезА-А. на фиг. 11 на Фиг. 3 - опалубка 35в стадии распалубки. Передвижная опалубка для замоноличивания стыков 1 пролетных строений 2 содержит раму 3, снабженную пе О реставными по нысоте и горизонтали колесами 4.К раме 3 посредством Г-образных рычагов 5 шарнирно прикреплены секции 6 щитовой опалубки. Рама 3 снабкена также натяжным...
Устройство для резки листового проката
Номер патента: 1009655
Опубликовано: 07.04.1983
Авторы: Петушенко, Рубин, Фишель
МПК: B23D 33/00
Метки: листового, проката, резки
...фиг. 2 (подъемная рама в нижнем положении), нафиг, 4 - то же, подъемная рама вверхнем положении.Устройство для резки листовогопроката содержит гильотинные ножницы 1, неприводной рольганг 2, связанную с приводом 3 подающую тележку 4,установленную в направляющих 5, перпендикулярных линии реза 6 ножниц 1и обеспечивающих воэможность ходатележки 4 вплотную к столу ножниц,Подающая тележка 4 снабжена шестьюэлектромагнитными захватами 7 листа8. На тележке 4 смонтирована подъемная рама 9 с опорами 10 качения,обеспечивающими возможность разворота на них листа 8 в горизонтальнойплоскости на угол 360 (например, ролики типа гуськовых головок) . Механизм подъема 11 рамы 9 снабжен четырьмя равными параллельно расположенными рычагами 12, связанными...
Агрегат для монтажа пролетных строений моста из блоков плитно-ребристой конструкции
Номер патента: 992649
Опубликовано: 30.01.1983
Авторы: Герман, Мизрухина, Олиферчук, Фишель, Шевченко
МПК: E01D 21/00
Метки: агрегат, блоков, конструкции, монтажа, моста, плитно-ребристой, пролетных, строений
...роликами б, укрепленные на балках подмостей 2, опорные ролики, укрепленные на корпусах домкратов 4, лебедки 8 для перемещения-блоков 1 по накаточным путям 9, уложенным на верхние пояса спаренных балок подмостей 2, а также продольно-подвижную пространственную транспортную балку 10 с приспособлением для ее перемещения в виде лебедки 11 и укрепленными в верхней ее части направляющими 12. Транспортная балка 10 размещена под подмостями 2 между спаренными балками и оперта направляющими 12 на опорные ролики 7, а укрепленные на балках подмостей 2 перекаточные ролики б оперты на направляющие 12 транспортной балки 10. Агрегат содержит также З 5 устройство для приема транспортной балки 10 на очередную опору 13 моста, выполненное в виде опорной...
Вакуумный клапан
Номер патента: 917234
Опубликовано: 30.03.1982
Авторы: Валеев, Дмитриев, Дубовиков, Евдокимов, Иванов, Фатеев, Фишель, Хрусталев
МПК: H01J 9/38
...3, установленном наоси 4. Другой конец емчага 3 соединеносьа 5 со штоком 6, который посредством гаек 7 вакуумно"плотно соединенс мембраной 8. Ивибрана 8 вакуумно 46плотно закреплена. нв корпусе 1 стаканои 9, сообщаацимся с атмосФерой.Шток 6 подпружинен пружиной 10, усилив которой регулируется втулкой 11.В тарелке 2 имеется регулируемое отверстие 12 небольшого диаметра. Отверстие 13 соединяет клапан с вакуумной емкостью, а отверстие 14 - снасосом.Устройство работает. следующим об- фвразом.В начале откачки отверстие 14закрыто тарелкой 2, и откачка производится через отверстие 12 небольшого диаметра, тарелка 2 прижата котверстию 14 усилием, создаваемымпружиной 10 и разностью давленийв объемах, находящихся со сторон 4 4отверстий 13 и 14,...
Испаритель для нанесения сложных соединений материалов
Номер патента: 659642
Опубликовано: 30.04.1979
Авторы: Беккер, Валеев, Ванин, Евдокимов, Фишель, Хрусталев
МПК: C23C 13/12
Метки: испаритель, нанесения, сложных, соединений
...расположенные секции, число которых равно числу цспаряемых компонент, и фокусцрующпй электрод-прожектор с размещенным в нем нагревателем-катодом, ко аксиальцо расположенные секции тигляэлектрически изолированы одна от другой и находятся под различными потенциалами относительно нагрсвателя-катода, потенциал которого отличен от потенциала корпуса.На чертеже представлена конструкцияцспарителя.На нижней плите 1 на изоляторах 2 крепится верхняя плита 3, на которой установлен фокусирующий электрод-прожектор 4. Нагреватель-катод 5, выполненный в виде кольца, размещен внутри фокусцрующего электрола-прожектора. Один вывод нагреватель-катода соединен с верхней зо плитой, второй изолирован, Секции 6 и 7тигля располагаются вн три фокусирую-...
Устройство для нанесения многослойных покрытийв вакууме
Номер патента: 279291
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Баранов, Бацкиаури, Воскобойников, Гаврилов, Гал, Голубцов, Залипский, Замиховский, Злотин, Казаскер, Лагуткин, Ларионов, Малкин, Нова, Преображенский, Раменский, Симео, Тихомиров, Фишель, Шуберт
МПК: C23C 14/56
Метки: вакууме, многослойных, нанесения, покрытийв
...систему высоковакуумной откачки, работающую независимо от вы соков акуум ной системы откачки 1 Б дополнительной камеры и системы откачкишлюзовых камер. Кроме того, каждая из рабочих камер или группа их снабжены индивидуальной системой высоковакуумной откачки,На фиг. 1 - общий вид предлагаемого уст ройства в двух проекциях; на фиг. 2 - поперечный разрез устройства по дополнительной и рабочей камерам.Как видно из фиг. 1, устройство состоит изряда последовательно установленных обособ ленных рабочих камер 1 и дополнительной вакуумной камеры 2. Крайние камеры 3 и 4 служат для размещения в них механизмов загрузки и выгрузки соответственно.В дополнительной вакуумной камере 2 (см.30 фиг. 2) расположен транспортирующий меха.низм б подложки. В...
Установка для вакуумного напыления деталей
Номер патента: 242636
Опубликовано: 01.01.1969
Авторы: Злотин, Лагуткин, Фишель
МПК: C23C 14/56
Метки: вакуумного, напыления
...вакууоустройствочающаясяства покрь25 подложеки фиксатокамере иступами ив рабочей о в ляИзобретение относится к области вакуумного напыления,Известна установка для вакуумного напыления деталей, содержащая рабочую и отделенную от нее вакуумной заслонкой шлюзовую камеры и устройство для перемещения подложек.Предложенная установка отличается от известной тем, что устройство для перемещения подложек выполнено в виде ползуна с гнездом и фиксатором, расположенного в шлюзовой камере, и кронштейна с направляющими выступами и отводным упором, расположенного в рабочей камере. Это повышает качество покрытий.На фиг, 1 представлена описываемая установка, общий вид; на фнг, 2 - гнездо ползуна; на фиг. 3 - кронштейн.Установка содержит рабочую...
Электрическое подвесное транспортное устройство
Номер патента: 60925
Опубликовано: 01.01.1942
Автор: Фишель
МПК: B65G 17/30
Метки: подвесное, транспортное, электрическое
...5 совпадает с положением этих дополнительных контактных проводов, Таким образом, вагонетки с не- совпадающим положением верхнего передвижного контакта 5 пройдут прямо с участка М ца участок М;, и М 4 где роликзамкнет контактные провода Р 4, тогда выключатель В, сработает второй раз и включит участок М дав возможность следующей каретке продвинуться к стрелке.В том случае, когда вагонетка производит переключение стрелки на ответвление, поворачивающийся (стрелочный) отрезок участка М отрываясь своими соединительными контактами от находящегося под током участка Мз, останавливает вагонетку до тех пор, пока снова це коснется таких же соединительных контактов на участке М 5, находящимся под током, Пройдя на ответвление (участок М,),...