Высокомолекулярные соединения, разлагающиеся под действием света, например позитивные электронные резисты — G03F 7/039 — МПК (original) (raw)

212750

Номер патента: 212750

Опубликовано: 01.01.1968

МПК: G03F 7/039

Метки: 212750

...слоев, которые, кроме указанных свойств,обладают способностью при непродолкительной тсрмообработке Обрдзовывать пространственные структуры. Это достигается тем, что 20в качестве фенолформдльдегидных смол применяют эпоксидированные фенолформдльдегидные смолы. Светокопировальные слои, полу:еннье ооычным способом на основе такихэфиров, после экспонирования и проявления 25подвергаотся термообработке при бО - 100 С,в результате которой они теряют оастворимость в щелочах. Вследствие этого становитсяРозлгокны дальнсйш 1151 химическая Обргботка полученных изделий в щслоной среде, что 30особенно важно, например, при травлении алюминия. Кроме этого, главного преимугце ства, предлагаемые фоторезисты обладают повышенной адгезией к подложке,...

Способ получения негативных фоторезистов

Номер патента: 212752

Опубликовано: 01.01.1968

МПК: G03F 7/028, G03F 7/039

Метки: негативных, фоторезистов

...происходит фотохимическое структурирование полимера, поэтому после проявления в щелочных, водных растворах происходит растворение необлученных участков и образование рельефного защитного рисунка. Концентрация проявителя целиком определяется видом радикала К в вышеприведенной общей формуле смол. Полученное защитное покрытие без дополнительно термического дубления позволяет производить травление окислов кремния, сплавов МЛТ толщиной 0,5 - 1 мк, кремния на глубину 50 в 1 мк без видимых разрушений поверхности подложки, покрытой пленкой фоторезиста.Применение предлагаемых фоторезистов позволяет получать схемы с размером отдельных элементов 3 - 5 мк. П р и м е р 1, К 10 о/,-ному раствору фенольнодифенилоксидной смолы, полученной при...

Способ получения светочувствительных материалов

Номер патента: 276734

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Глухова, Гурь, Динабург, Изо, Катаева, Лубашевска, Хорина

МПК: G03F 7/039

Метки: светочувствительных

...Тираж. 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изооретепий и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/Б Типография, пр. Сапунова, 2 2,5-сульфохлорида в 960 мл диоксана. Раствор нагревают до 40 С и при этой температуре в течение 2 час прикапывают 365 мл 10% -ного раствора бикарбоната натрия до устойчивой слаоощелочной реакции на бриллиантовую желтую бумагу. Затем массу выдерживают прн размешивании и температуре 40 С еще 1 час, По окончании выдержки содержимое колбы выливают в 1220 мл охлажденной дистиллированной воды и оставляют на ночь в холодильнике. Выпавший желтый продукт промывают водой и сушат. Получают 55,5 г порошка светло-желтого цвета, растворимого в диоксане.Найдено, %: С 61,40; Н 3,29; М 5,82; 5 6,65.7,5...

Способ получения светочувствительного материала1

Номер патента: 379110

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Акрилаты, Акрп, Амиды, Атом, Бутадиен, Винилгалогениды, Винилкетоны, Виниловые, Груп, Дивинилбензол, Долговечности, Известен, Изобутилен, Изопрен, Или, Которые, Малеино, Мета, Например, Органический, Повышени, Предлагаемые, Присоединенными, Производные, Смешанные, Содержащий, Способными, Сти, Стирол, Хлор, Этилен, Эфиры, Ютс

МПК: G03F 7/004, G03F 7/039

Метки: материала1, светочувствительного

...кислоты (0,1%) при сильном перемешивании. Полимерный материал фильтруют, промывают неоколько раз водой и сушат на воздухе при комнатной температуре.П р и м е р 8. Положительно заряженная литографская печатная пластина.Готовят следующий состав:Сополимерный и-аминостирол-стиролсульфамид нафтохинондиазид - 5- сульфохлорида г 1,25Циклогексанон, мл ,50 Ацетон, мл 50Состав наносят вихревым способом на анодированную алюминиевую подложку, обработанную карбоксиметилцеллюлозой со скоростью 78 об/мин в течение 15 мин, затем еще в течение 2 мин струей теплого воздуха и еще в течение 10 мин при 40 С. Пластину с нанесенным покрытием подвергают экспозиции на расстоянии 152,5 см от дуговой лампы (95 а) в течение 2 - 3 мин.После экопозиции пластину...

Позитивный термостойкий фоторезист

Номер патента: 1825425

Опубликовано: 30.06.1993

Авторы: Абрамович, Аскеров, Дударчик, Кабанова, Казарцева, Крупен, Ладутько, Маринченко, Сахарова, Сердюк, Скорнякова, Чальцева, Челушкин, Чикирисова, Шумилкина, Эрлих

МПК: G03F 7/023, G03F 7/039

Метки: позитивный, термостойкий, фоторезист

...до температуры 63 4. 3 С и в течение 2 ч добавляют 78 г фпрмальдегида (в виде 37-ного формалина, Реакционную массу выдерживают в течение 3 ч при 67 + 3 С и охлаждают до 20 - 25 С, а затем выделяют на 700 г деиониэированной воды, охлажденной до 5-10 С, Выделившуюся смолу отфильтровывают, промывают деионизированной водой, отжимают. Пасту смолы растворяют в 277 г уксусной кислоты при перемешивании и нагревании до температуры 40-50 С. Затем охлажденный раствор выделяют на 185 г деионизированной воды,охлажденной до 5 - 10 С, Выделившуюся смолу отфильтровывают, суспендируют в 60-ной водной уксусной кислоте, отфильтровывают, промывают, отжимают и сушат.Получают креэолоформальдегидную смолу с Т пл.155 С; Миг=50005500; (3-4; массовая доля...