Металлические ионные источники — H01J 27/22 — МПК (original) (raw)

Источник ионов

Номер патента: 803737

Опубликовано: 15.12.1985

МПК: H01J 27/22

...изобретения является повышение плотности ионного тока,37 1электрода в его главной плоскостисимметрично извлекающему отверстиюанод и источник питания разряда,анод выполнен в виде прямоугольнойпетли, введен дополнительный источник питания для поддержания тока через анод, термокатод выполнен в видеаналогичной по форме аноду. петли ирасположен в плоскости, параллельной плоскости расположения анода, подругую по отношению к извлекающемуотверстию сторону от этой плоскости.На чертеже представлена структурная схема ионного источника,Корпус газоразрядной камеры 1 (показан пунктиром, представляющийсобой катодный электрод, имеет формуполого цилиндра с дном, на которомпомещается тигель с рабочим веществом. Внутри полости катода...

Способ генерации в ионном источнике двухкомпонентного потока ионов газа и металла

Номер патента: 2001463

Опубликовано: 15.10.1993

Авторы: Бугаев, Николаев, Окс, Щанин, Юшков

МПК: H01J 27/04, H01J 27/22

Метки: газа, генерации, двухкомпонентного, ионном, ионов, источнике, металла, потока

...и нейтральных частиц рабочего газа приводит к эффективной регенерации в области контрагирования и анодной части разряда газовых ионов. При повышении концентрации плазмы за счет увеличения тока контрагированного разряда и напряжения между электродом 3 и плазмой на выходе отверстия на металлическом электроде 3 под плазмой контрагированного разряда, в месте ее наибольшей концентрации (вблизи отверстия), возбуждается катодное пятно, ток которого поддерживается источником питания 8, Существование катодного пята обеспечивает поступление в анодную область металлических ионов. Как показали испытания, контрагированнный разряд не только способствует возбуждению катодного пятна, но и оказывает стабилизирующее влияние на горение вакуумной дуги....

Источник ионов

Номер патента: 1531745

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Арзубов, Насыров, Пузыревич, Рябчиков

МПК: H01J 27/22, H01J 3/04

Метки: ионов, источник

ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий коаксиально расположенные анод и катод, составленный из различных рабочих материалов, поджигающий электрод, изолятор, установленный между катодом и поджигающим электродом, и ускоряющий электрод, при этом катод и анод подключены к источнику электропитания основного разряда, а катод и поджигающий электрод - к источнику вспомогательного разряда, отличающийся тем, что, с целью упрощения устройства, поджигающий электрод установлен в центре катода, выполненного из плотно прилегающих концентрических колец из рабочих материалов, причем внешнее кольцо катода подключено к источнику питания основного разряда, выполненному с регулируемой длительностью импульса.

Источник ионов паров металлов

Номер патента: 1745080

Опубликовано: 27.03.1995

Авторы: Богатырев, Журавлев, Потемкин

МПК: H01J 27/04, H01J 27/22

Метки: ионов, источник, металлов, паров

1. ИСТОЧНИК ИОНОВ ПАРОВ МЕТАЛЛОВ, содержащий холодный полый катод в виде цилиндрического стакана с осевым отверстием в дне, анод, выполненный в форме полого цилиндрического стакана, обращенный своим основанием к днищу катода, в котором выполнено отверстие, соосное с осевым катодным отверстием, и диаметром, большим диаметра катодного отверстия, стержень с наконечником из ионообразующего металла, установленный со стороны анода вдоль оси симметрии источника, электромагнитную катушку и многоапертурную ионно-оптическую систему, отличающийся тем, что, с целью повышения концентрации ионов металла в потоке ионов и ресурса источника ионов, стержень с наконечником установлен на расстоянии l = (1 - 3) d от дна катода, где d - диаметр катодного...

Генератор металлосодержащей плазмы

Номер патента: 1766234

Опубликовано: 27.04.1998

Авторы: Носков, Орликов

МПК: H01J 27/22, H05H 1/24

Метки: генератор, металлосодержащей, плазмы

Генератор металлосодержащей плазмы, содержащий соосно расположенные катод в форме спирали, содержащий рабочий распыляемый металл и служащий источником магнитодвижущей силы, и анод, к которым подключены генератор тока и генератор напряжения, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции при генерации аксиально направленных потоков плазмы за счет совмещения в одной камере импульсного испарения металла и ионизации его паров в индукционном импульсном разряде, катодная спираль выполнена в форме конуса и снабжена внешним коническим экраном из ферромагнитного материала, анод выполнен в виде многослойной электромагнитной катушки с выводами от внутреннего и внешнего слоев, расположенной над большим основанием конической катодной спирали, в...

Источник ионов металлов

Номер патента: 1533563

Опубликовано: 27.04.1998

Авторы: Новикова, Носков, Орликов, Шангин

МПК: H01J 27/22

Метки: ионов, источник, металлов

Источник ионов металлов, содержащий ускоряющую систему с соосными цилиндрическими катодом и анодом, генератор плазмы, установленный в полости анода и выполненный в виде магниторазрядной камеры с магнитной системой, катодами, поджигающим электродом, и блоки электропитания, подключенные к электродам, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности за счет повышения стабильности разряда, поджигающий электрод выполнен в виде диска и установлен соосно с осью ускорителя, а катод генератора плазмы выполнен в виде стержней, установленных равномерно по окружности концентрично поджигающему электроду, при этом магниторазрядная камера отделена от ускоряющей системы плоской стенкой, соединенной по периметру с анодом, с отверстиями, симметричными...

Источник ионов металлов

Номер патента: 1816154

Опубликовано: 27.11.2000

Авторы: Брюхов, Венедиктов, Зюзин, Филин

МПК: H01J 27/04, H01J 27/22

Метки: ионов, источник, металлов

1. Источник ионов металлов, содержащий торообразную газоразрядную камеру с анодом в форме кольца, полым катодом, образованным двумя кольцеобразными поверхностями, и эмиссионным отверстием в форме кольцевой щели, постоянные магниты с полюсными наконечниками, размещенные в оболочках из немагнитного материала, полюса которых расположены таким образом, чтобы вектор индукции магнитного поля был перпендикулярен направлению извлечения ионов из газоразрядной камеры, распыляемый электрод-экстрактор, выполненный в форме центрального тела профилированного осесимметричного кольцевого сопла с выпуклой поверхностью, плавно переходящей вдоль оси симметрии в вогнутую, а затем в коническую поверхность, и...