Майстренеко — Автор (original) (raw)

Майстренеко

Способ изготовления фотопреобразователей

Номер патента: 1356886

Опубликовано: 20.01.2000

Авторы: Климова, Майстренеко, Свиридов, Скоков

МПК: H01L 21/28

Метки: фотопреобразователей

Способ изготовления фотопреобразователей, включающий нанесение на поверхность полупроводниковой кремниевой подложки твердого источника легирующей примеси, диффузию и формирование контактов, отличающийся тем, что, с целью повышения качества фотопреобразователей за счет улучшения адгезии контактов к подложке и уменьшения глубины залегания горизонтального p-n-перехода и упрощения технологии изготовления за счет совмещения процессов диффузии и формирования контактов в едином термоцикле, в качестве твердого источника легирующей примеси используют слой фосфоросиликатного стекла с содержанием в нем фосфора от 5 до 45% или боросиликатного стекла с содержанием бора от 10 до 50%, формирование...