Смоленска — Автор (original) (raw)

Смоленска

Способ изготовления многослойных тонкопленочных структур

Номер патента: 280593

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Смоленска, Топоровский

Метки: многослойных, структур, тонкопленочных

...способы изготовления многослойных тонкопленочных структур, основанные на последовательном нанесении токопроводящих и диэлектрических слоев и обработке токопроводящих слоев после нанесения каждого диэлектрического слоя через его дефектные участки химическим реактивом, не взаимодействующим с материалом диэлектрического слоя, но растворяющим материал токопроводящего слоя.Однако при использовании подобных способов в процессе обработки реактивом изменяется площадь токопроводящих слоев, а следовательно и параметры структуры.Цель изобретения - сохранить постоянство параметров структуры в процессе обработки.Для этого в качестве реактивов используют химические реактивы, которые образуют на участках токопроводящего слоя,...

Способ изготовления многослойной тонкопленочной структуры

Номер патента: 200638

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Смоленска, Топоровский

МПК: B32B 7/00, C23C 18/06, C23F 1/02 ...

Метки: многослойной, структуры, тонкопленочной

...тонкопленочной структуры отличается от известных тем, что на каждый токопроводящий слой наносят диэлектрический слой, имеющий толщину, несколько меньшую расчетной, обрабатывают этот слой травителем, растворяющим материал токопроводящего слоя, но не воздействующим на материал диэлектрического слоя, доводят толщину диэлектрического слоя до расчетной, наносят второй токопроводящий слой и выжигают контактные мостики электрическим током. Это позволяет значительно увеличить срок службы пленочных структур и их надежность в работе.Длительность процесса травления выбирают, исходя из скорости растворения токопроводящего слоя, его толщины и качества диэлектрического покрытия. После травления структуру тщательно промывают. Если диэлектрические слои...