Синхротронные исследования формирования нанокластеров кремния в многослойных наноструктурах Al2O3/SiOx /Al2O3/SiOx /. . ./Si(100) (original) (raw)
Related papers
Конденсированные среды и межфазные границы, 2019
Методом синхротронной спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения (X-ray Absorption Near Edge Structure – XANES) проведена диагностика массивов столбиков никеля, случайным образом распределенных в слое SiO2 на подложке кремния. Столбики никеля были получены методом электрохимического осаждения металла в поры матрицы диоксида кремния, сформированные трековым методом. Латентные треки формировались путем облучения слоя SiO2 тяжелыми ионами золота на ускорителе института Хан-Майтнер (Берлин, Германия). Методом растровой электронной микроскопии установлены особенности заполнения пор металлом, показана специфика образования столбиков Ni, их морфология (поверхность и сколы). Для исследований электронно-энергетического строения массивов Ni столбиков методом XANES использовалось высокоинтенсивное синхротронное излучение ультрамягкого рентгеновского диапазона накопительного кольца BESSY II Гельмгольц Центра Берлин. Путем анализа локального окружения атомов никеля и к...
Тонкопленочный нанокристаллический кремний (111)
Наноиндустрия, 2010
There are open new possibility to use nanocrystalline silicon films with crystal orientation (111). One of them is new color vision devices, nonlinear optical switches, liquid or gaseous sensors.
Фізика і хімія твердого тіла
Cellulose acetate and polyisocyanate copolymer synthesized by mechanical mixing of cellulose acetate, polyisocyanate and fumed silicon dioxide in the presence of nickel chloride was carbonized in silicon dioxide template. Copolymer and silicon dioxide template were formed simultaneously. Composite structure and composition was studied with SEM and EDS. SEM showed that porous carbonaceous nanomaterial was synthesized. Formed carbon is represented by coating on silicon dioxide, layered ribbon-like and fibrous structures in template pores with size from several nm (thickness) to several microns (length). Metallic nickel crystals up to 200 nm in size were fabricated in composite pores from Nickel chloride by reduction of Ni2 with products of pyrolysis of organic compounds.
Формирование светоизлучающих в ИК-диапазоне нанокристаллов германия в плeнках Ge:SiO-=SUB=-2-=/SUB
Журнал технической физики, 2018
The study is concerned with light-emitting Ge nanocrystals formed during the annealing of Ge_ x [SiO_2]_1 –_ x films produced by the high-vacuum cosputtering of germanium and quartz targets onto substrates at a temperature of 100°C. In accordance with the conditions of growth, the Ge molar fraction was varied from 10 to 40%. By means of electron microscopy and Raman spectroscopy, amorphous Ge nanoclusters ~4–5 nm in dimensions are detected in as-deposited films with a Ge content higher than 20 mol %. To crystallize amorphous nanoclusters, annealing at temperatures of up to 650°C is used. The kinetics of the crystallization of Ge nanoclusters is studied, and it is established that up to ~1/3 of the amorphous phase is retained in the system, supposedly at the interfaces between nanocrystals and the surrounding amorphous SiO_2 matrix. It is found that, upon annealing in normal atmosphere, germanium nanoclusters are partially or completely oxidized (at a Ge molar fraction of 30% and sma...
ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОК СИСТЕМЫ (Y2O3-Fe2O3) НАНОРАЗМЕРНОГО ДИАПАЗОНА ТОЛЩИНЫ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ InP
Kondensirovannye sredy i mezhfaznye granitsy = Condensed Matter and Interphases, 2019
Методом центрифугирования сформированы пленки наноразмерного диапазона толщины (лазерная, спектральная эллипсометрия) системы Y2O3–Fe2O3 на монокристаллическом InP из нитратного раствора. Состав пленок, выращенных без отжига - YFe2O4; отожженных термически при 200 °С – YFe2O4, Fe2O3 с примесью Fe3O4; прошедших импульсную фотонную обработку (50 Дж/см2, 0.4 с) и термооксидирование (450–550 °С, время 10–60 мин) – YFe2O4 и YFeO3. Отжиг с последующим термооксидированием способствует уменьшению размера зерен на поверхности выращенной пленки, но увеличивает среднюю шероховатость. Импульсная фотонная обработка обусловливает повышенную неровность поверхности гетероструктуры. ИСТОЧНИК ФИНАНСИРОВАНИЯРабота выполнена при поддержке грантаРФФИ №18-03-00354 а. REFERENCES Zvezdin A. K., Logginov A. S., Meshkov G. A., Pyatakov A. P. Multiferroics: Promising materials for microelectronics, spintronics, and sensor technique. Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics, 2007, v. 71(...