Surface Ablation by Soft X-ray Laser Pulse for EUV nano-scale fabrication (original) (raw)

2018, The Japan Society of Applied Physics

量研 , 大阪大 , NTT-AT, 兵県大 , 早稲田大 , 宇都宮大 , JASRI, 理研 , 東北大 , 豊田理研 , 錦野 将元 ,石野 雅彦 , T-H Dinh, 長谷川 登 , A. Faenov, T. Pikuz, 市丸 智 , 木下 博雄 , 坂 上 和之 , 東口 武史 , 犬伏 雄一 , 今 亮 , 大和田 成起 , 羽多野 忠 , 鷲尾 方一 , 末元 徹 , 河内 哲哉 1 QST, Osaka Univ., NTT-AT, Univ. Hyogo, Waseda Univ., Utsunomiya Univ. , JASRI, Riken, Tohoku Univ., TPCRI, M. Nishikino, M. Ishino, T-H. Dinh, N. Hasegawa, A. Faenov, T. Pikuz, S. Ichimaru, H. Kinoshita, K. Sakaue, T. Higashiguchi, Y. Inubushi, A. Kon, S. Ohwada, T. Hatano, H. Washio, T. Suemoto, T. Kawachi, E-mail:nishikino.masaharu@qst.go.jp