Amplification de défaut optique pour une sensibilité améliorée sur des couches à motifs (original) (raw)

2010

Abstract

L'invention porte sur un procede d'inspection des defauts de plaquettes qui peut comprendre, mais sans y etre limite : la fourniture d'une cible a inspecter; l'application d'au moins un composant d'amelioration d'inspection de defauts a la cible a inspecter; l'eclairement de la cible a inspecter comprenant l'au moins un composant d'amelioration d'inspection pour generer un ou plusieurs signaux d'inspection associes a une ou plusieurs caracteristiques de la cible a inspecter; la detection des signaux d'inspection; et la generation d'un ou plusieurs parametres d'inspection a partir des signaux d'inspection. Une cible a inspecter peut comprendre, mais sans y etre limitee : au moins une couche d'inspection; et au moins une couche d'amelioration d'inspection.

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