Caractérisation De Couches Minces De Verres De Chalcogenure Préparées Par Pecvd (original) (raw)

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1989, Le Journal de Physique Colloques

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Des couches minces de verres de chalcogénure, de compositions GeSe3 et GeSe5,5 , déposées par PECVD sont caractérisées par différentes techniques de microscopie électronique. La structure hétérogène mise en évidence sur le matériau de composition GeSe5,5 paraît également exister pour la composition GeSe3. L'apport de la technique de dé-pôt par PECVD pour préparer des couches minces en vue d'applications microlithographiques est discuté.