Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления (original) (raw)

Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления

Проблемы Машиностроения, 2014

Наталья Василенко hasn't uploaded this paper.

Let Наталья know you want this paper to be uploaded.

Ask for this paper to be uploaded.