Metrologisches Rasterkraftmikroskop (original) (raw)

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References (12)

  1. Jäger G.: Lasernanomesstechnik -Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen in der modernen Gerätetechnik. In: 44 th International Scientific Colloquium, Technical University of Ilmenau, September 20-23, 1999
  2. Digital Instruments: The Dimension Metrology AFM for Critical Measurements, http://www.di.com
  3. Jäger, G.; Manske, E.; Hausotte, T.; Büchner, H.-J.: Laserinterferometrische Nanomeßmaschinen. In: VDI Berichte Nr. 1530 Sensoren und Meßsysteme 2000, VDI/VDE-Gesellschaft Mess-und Automatisierungstechnik, März 2000, S. 271-278
  4. Jäger, G.; Manske, E.; Hausotte, T.; Büchner, H.-J.: Nanomeßmaschinen zur abbefehlerfreien Koordinatenmessung. In: Technisches Messen 67 (2000), Juli/August, Nr. 7-8, S. 319-323
  5. Hausotte, Tino: Nanopositionier-und Nanomessmaschine, Technische Universität Ilmenau, Dissertation, 2002
  6. G. Binnig, C. F. Quate and C. Gerber, Atomic force microscope, Physical Review Letters 56, 930-933 (1986)
  7. XE Serie von PSIA: http://www.coordes.net/produkte/index.html
  8. Rasterkraftmikroskope vom Typ Veritekt: http://www.ptb.de/de/org/5/51/515/rm/rm31\_d.htm
  9. SURFACE IMAGING SYSTEMS: ULTRAObjective AFM/SPM, http://www.sis-gmbh.com/products/ultra.htm
  10. Miniaturinterferometer mit Planspiegelreflektor der Serie SP: http://www.sios.de/DEUTSCH/PRODUKTE/SP1.HTM
  11. Dror Sarid: Exploring scanning probe microscopy with Mathematica -New York: Wiley, 1997
  12. Dror Sarid: Scanning force microscopy: with applications to electric, magnetic and atomic forces -Rev. ed. -New York: Oxford Univ. Press, 1994