Sheet resistance (original) (raw)
シート抵抗 (シートていこう、英語: sheet resistance, sheet resistivity) とは、一様の厚さを持つ薄い膜やフィルム状物質の電気抵抗を表す量のひとつ。表面抵抗率、面抵抗率とも呼ばれる。
| Property | Value |
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| dbo:abstract | Der (spezifische) Flächenwiderstand beschreibt den elektrischen Widerstand einer elektrisch leitfähigen Schicht. Je nach Anwendung fließt der elektrische Strom nur parallel zur Schicht oder senkrecht durch diese hindurch. Typische Fälle, bei denen der Flächenwiderstand eine Rolle spielt, sind das elektrische Bauteil Schichtwiderstand, aber auch die Deckelektroden von Fotodioden, Solarzellen, die Metallschichtstrukturen von Leiterplatten und die Leit- bzw. Dotierungszonen integrierter Schaltkreise, sowie die Impedanzmessung an Zellkulturen Der Oberflächenwiderstand dielektrischer Körper und Flüssigkeiten ist um viele Größenordnungen höher und bildet sich meist unerwünscht durch die Grenzfläche selbst oder adsorbierte Stoffe. (de) Sheet resistance, is a measure of resistance of thin films that are nominally uniform in thickness. It is commonly used to characterize materials made by semiconductor doping, metal deposition, resistive paste printing, and glass coating. Examples of these processes are: doped semiconductor regions (e.g., silicon or polysilicon), and the resistors that are screen printed onto the substrates of thick-film hybrid microcircuits. The utility of sheet resistance as opposed to resistance or resistivity is that it is directly measured using a four-terminal sensing measurement (also known as a four-point probe measurement) or indirectly by using a non-contact eddy-current-based testing device. Sheet resistance is invariable under scaling of the film contact and therefore can be used to compare the electrical properties of devices that are significantly different in size. (en) De vierkantsweerstand is een maat voor de karakteristieke elektrische weerstand van een dunne, homogene geleidende laag met constante dikte. Hij wordt veel gebruikt voor het karakteriseren van opgedampte of gezeefdrukte dunne metaal- en halfgeleiderlagen in elektronische toepassingen, zoals geïntegreerde schakelingen. Dunne homogene geleidende lagen van constante dikte kunnen als tweedimensionaal worden beschouwd. Bij het elektrisch gedrag ervan speelt de vierkantsweerstand een rol die vergelijkbaar is met die van de soortelijke weerstand in driedimensionale situaties. Daarbij gaat men ervan uit dat de stroom alleen in het vlak van de laag stroomt, en niet loodrecht daarop. (nl) La resistività di superficie, o resistività superficiale, è una grandezza che caratterizza le proprietà di conduzione elettrica, in particolare per campioni bidimensionali o quasibidimensionali, che hanno cioè lo spessore H molto minore della larghezza W e della lunghezza L. Esempi di questi sistemi sono i wafer di semiconduttori, e in generale i film sottili. Questa grandezza è data da dove è la resistività.Nell'ultimo passaggio è stata usata la seconda legge di Ohm . L'unità di misura della resistività superficiale, nel Sistema Internazionale, è l'ohm (Ω). Oltre agli ohm, si usano spesso come unità gli "ohm per quadrato" (indicati con "Ω/sq" (square) o " Ω/◻"), dimensionalmente uguale agli ohm, ma usati solo per la resistenza di superificie, per evitare fraintendimenti. In queste unità, il numero di quadrati di materiale è dato dal rapporto L/W. Ad esempio, un pezzo di materiale con resistenza di superficie Rs, lungo 3 mm e largo 1 mm, ovvero 3 quadrati, avrà resistenza 3Rs. La resistività superficiale si misura direttamente con la misura a quattro terminali o il metodo di van der Pauw. (it) シート抵抗 (シートていこう、英語: sheet resistance, sheet resistivity) とは、一様の厚さを持つ薄い膜やフィルム状物質の電気抵抗を表す量のひとつ。表面抵抗率、面抵抗率とも呼ばれる。 (ja) Resistência de folha é uma medida de resistência usada para caracterizar finas camadas de semicondutores dopados, normalmente uniformes em toda sua espessura. Resistividade é uma função direta da geometria da amostras, e portanto é conveniente trabalhar com este parâmetro resistência de folha , expressa em unidades de ohms por quadrado. A resistência de folha, em oposição à resistência, nos fornece a resistividade de filmes finos formados por camadas difusas, ou formada por filmes epitaxiais em semicondutores, ou então de camadas policristalinas e de condutores metálicos. Medidas de resistência de folha são invariantes frente a diminuição da escala de tamanho dos filmes, e portanto pode ser utilizada para comparar propriedades elétricas de dispositivos que são significativamente diferentes em tamanho. Medidas de resistência de folha são muito comuns para caracterizar a uniformidade de recobrimentos condutores ou semicondutores, além de garantia de qualidade de materiais, por exemplo. O desenvolvimento e o rápido crescimento da em comparação a microeletrônica tem sido acelerado pelos avanços nas técnicas de crescimento de semicondutores. Filmes epitaxiais que são utilizados em dispositivos ópticos e eletrônicos não podem ser caracterizados pela utilização das mesmas técnicas utilizadas para a caracterização dos substratos semicondutores. Assim, foi necessário refinar e desenvolver novos aparatos para que a caracterização elétrica das amostras pudesse ser determinada. (pt) 薄膜电阻(sheet resistance)，又被称为方阻，具有均匀厚度薄膜电阻的量度。通常被用作评估半导体掺杂的结果。这种工艺的例子有：半导体的掺杂领域（比如硅或者多晶硅），以及被丝网印刷到基底上的电阻。薄膜电阻的概念与电阻或者电阻率相对，可直接用四端點測量技術测量法（也称为四点探针测量法）或范德堡法来测量。 薄膜电阻用欧姆每平方（）来计量，可被应用于将薄膜考虑为一个二维实体的二维系统。它与三维系统下所用的电阻率的概念对等。当使用到薄膜电阻一词的时候，电流必须沿着薄膜平面流动，而非与其垂直。 对于常规三维导体，电阻可写为 其中代表电阻率，代表截面面积而代表长度。截面面积可被分解为宽度和薄膜厚度。 当把电阻率和厚度放到一起时，电阻可被记为 即为薄膜电阻。因为它被一个无量纲量所乘，所以单位依然是欧姆。而欧姆/平方这一单位被使用是因为它给出了以欧姆为单位的从一个平方区域流向相对平方区域的电阻，无论平方区域的大小如何。对于正方情形，。因此，对任意平方大小，有。 (zh) |
| dbo:thumbnail | wiki-commons:Special:FilePath/Carbon-film_Resistor_Construction.svg?width=300 |
| dbo:wikiPageExternalLink | https://www.academia.edu/29112469/Electrical_Conductivity_and_Resistivity https://archive.org/details/introductiontomi00jaeg https://archive.org/details/introductiontomi00jaeg/page/n94 https://archive.org/details/microchipfabrica00pete/page/431 https://archive.org/details/semiconductormat00schr https://archive.org/details/semiconductormat00schr/page/n22 |
| dbo:wikiPageID | 1539804 (xsd:integer) |
| dbo:wikiPageLength | 8786 (xsd:nonNegativeInteger) |
| dbo:wikiPageRevisionID | 1093849810 (xsd:integer) |
| dbo:wikiPageWikiLink | dbr:Electric_current dbr:Insulated_glazing dbr:Ohm dbr:Electrical_resistance dbc:Electrical_resistance_and_conductance dbr:Eddy_currents dbr:Four-terminal_sensing dbr:Hybrid_integrated_circuit dbr:ESD_materials dbc:Semiconductors dbr:Aspect_ratio dbr:Semiconductor dbr:Silicon dbr:Ohmic_contact dbr:Van_der_Pauw_method dbr:Voltmeter dbr:Polysilicon dbr:Doping_(semiconductors) dbr:Resistivity dbr:File:Carbon-film_Resistor_Construction.svg dbr:File:Sheet_resistance.svg |
| dbp:wikiPageUsesTemplate | dbt:Cite_book dbt:More_footnotes dbt:Reflist |
| dct:subject | dbc:Electrical_resistance_and_conductance dbc:Semiconductors |
| gold:hypernym | dbr:Measure |
| rdf:type | dbo:Software yago:WikicatSemiconductors yago:Abstraction100002137 yago:Conductor114821043 yago:Material114580897 yago:Matter100020827 yago:Part113809207 yago:PhysicalEntity100001930 yago:Relation100031921 yago:Semiconductor114821248 yago:Substance100019613 |
| rdfs:comment | シート抵抗 (シートていこう、英語: sheet resistance, sheet resistivity) とは、一様の厚さを持つ薄い膜やフィルム状物質の電気抵抗を表す量のひとつ。表面抵抗率、面抵抗率とも呼ばれる。 (ja) 薄膜电阻(sheet resistance)，又被称为方阻，具有均匀厚度薄膜电阻的量度。通常被用作评估半导体掺杂的结果。这种工艺的例子有：半导体的掺杂领域（比如硅或者多晶硅），以及被丝网印刷到基底上的电阻。薄膜电阻的概念与电阻或者电阻率相对，可直接用四端點測量技術测量法（也称为四点探针测量法）或范德堡法来测量。 薄膜电阻用欧姆每平方（）来计量，可被应用于将薄膜考虑为一个二维实体的二维系统。它与三维系统下所用的电阻率的概念对等。当使用到薄膜电阻一词的时候，电流必须沿着薄膜平面流动，而非与其垂直。 对于常规三维导体，电阻可写为 其中代表电阻率，代表截面面积而代表长度。截面面积可被分解为宽度和薄膜厚度。 当把电阻率和厚度放到一起时，电阻可被记为 即为薄膜电阻。因为它被一个无量纲量所乘，所以单位依然是欧姆。而欧姆/平方这一单位被使用是因为它给出了以欧姆为单位的从一个平方区域流向相对平方区域的电阻，无论平方区域的大小如何。对于正方情形，。因此，对任意平方大小，有。 (zh) Der (spezifische) Flächenwiderstand beschreibt den elektrischen Widerstand einer elektrisch leitfähigen Schicht. Je nach Anwendung fließt der elektrische Strom nur parallel zur Schicht oder senkrecht durch diese hindurch. Typische Fälle, bei denen der Flächenwiderstand eine Rolle spielt, sind das elektrische Bauteil Schichtwiderstand, aber auch die Deckelektroden von Fotodioden, Solarzellen, die Metallschichtstrukturen von Leiterplatten und die Leit- bzw. Dotierungszonen integrierter Schaltkreise, sowie die Impedanzmessung an Zellkulturen (de) Sheet resistance, is a measure of resistance of thin films that are nominally uniform in thickness. It is commonly used to characterize materials made by semiconductor doping, metal deposition, resistive paste printing, and glass coating. Examples of these processes are: doped semiconductor regions (e.g., silicon or polysilicon), and the resistors that are screen printed onto the substrates of thick-film hybrid microcircuits. (en) La resistività di superficie, o resistività superficiale, è una grandezza che caratterizza le proprietà di conduzione elettrica, in particolare per campioni bidimensionali o quasibidimensionali, che hanno cioè lo spessore H molto minore della larghezza W e della lunghezza L. Esempi di questi sistemi sono i wafer di semiconduttori, e in generale i film sottili. Questa grandezza è data da dove è la resistività.Nell'ultimo passaggio è stata usata la seconda legge di Ohm . L'unità di misura della resistività superficiale, nel Sistema Internazionale, è l'ohm (Ω). (it) De vierkantsweerstand is een maat voor de karakteristieke elektrische weerstand van een dunne, homogene geleidende laag met constante dikte. Hij wordt veel gebruikt voor het karakteriseren van opgedampte of gezeefdrukte dunne metaal- en halfgeleiderlagen in elektronische toepassingen, zoals geïntegreerde schakelingen. (nl) Resistência de folha é uma medida de resistência usada para caracterizar finas camadas de semicondutores dopados, normalmente uniformes em toda sua espessura. Resistividade é uma função direta da geometria da amostras, e portanto é conveniente trabalhar com este parâmetro resistência de folha , expressa em unidades de ohms por quadrado. A resistência de folha, em oposição à resistência, nos fornece a resistividade de filmes finos formados por camadas difusas, ou formada por filmes epitaxiais em semicondutores, ou então de camadas policristalinas e de condutores metálicos. (pt) |
| rdfs:label | Flächenwiderstand (de) Resistività di superficie (it) シート抵抗 (ja) Vierkantsweerstand (nl) Sheet resistance (en) Resistência de folha (pt) 薄膜电阻 (zh) |
| owl:sameAs | freebase:Sheet resistance yago-res:Sheet resistance wikidata:Sheet resistance dbpedia-de:Sheet resistance dbpedia-hu:Sheet resistance dbpedia-it:Sheet resistance dbpedia-ja:Sheet resistance dbpedia-nl:Sheet resistance dbpedia-pt:Sheet resistance dbpedia-vi:Sheet resistance dbpedia-zh:Sheet resistance https://global.dbpedia.org/id/3GdQb |
| prov:wasDerivedFrom | wikipedia-en:Sheet_resistance?oldid=1093849810&ns=0 |
| foaf:depiction | wiki-commons:Special:FilePath/Carbon-film_Resistor_Construction.svg wiki-commons:Special:FilePath/Sheet_resistance.svg |
| foaf:isPrimaryTopicOf | wikipedia-en:Sheet_resistance |
| is dbo:wikiPageRedirects of | dbr:Ohms_per_square dbr:Ohm/sq dbr:Area_resistivity dbr:Sheet_conductance dbr:Sheet_conductivity dbr:Sheet_resistivity dbr:Surface_resistance dbr:Surface_resistivity |
| is dbo:wikiPageWikiLink of | dbr:Electrostatic_discharge_materials dbr:Potential_applications_of_graphene dbr:Ohm's_law dbr:Optical_coating dbr:Electrical_resistance_and_conductance dbr:Electrical_resistivity_and_conductivity dbr:Ohms_per_square dbr:Heating_element dbr:Current_density dbr:Four-terminal_sensing dbr:Graphene_lens dbr:Graphene_morphology dbr:Graphene_nanoribbon dbr:Polyvinyl_chloride dbr:Modulating_retro-reflector dbr:Newton-metre dbr:Van_der_Pauw_method dbr:Substrate-integrated_waveguide dbr:Flexible_organic_light-emitting_diode dbr:Teledeltos dbr:Transfer_length_method dbr:Ohm/sq dbr:Area_resistivity dbr:Sheet_conductance dbr:Sheet_conductivity dbr:Sheet_resistivity dbr:Surface_resistance dbr:Surface_resistivity |
| is foaf:primaryTopic of | wikipedia-en:Sheet_resistance |
