イクスチェンジ - Weblio 英和・和英辞典 (original) (raw)

薬液部であるサイドキャビネット２において、薬液供給系から処理部１のエージングユニット（ＤＡＳ）２１およびソルベント**イクスチェンジユニット（ＤＳＥ）１１にそれぞれアンモニアおよびＨＭＤＳを供給し、処理後の排気および排液は排気・排液処理系で処理される。例文帳に追加

For the side cabinet 2 which is a chemical liquid part, ammonia and HMDS is supplied to an aging unit (DAS) 21 and a solvent exchange unit (DSE) 11, respectively, from the chemical liquid supply system, while exhausting and liquid-discharging after process are done with the exhausting/liquid- discharging process system. - 特許庁