サーモビュア - Weblio 英和・和英辞典 (original) (raw)
例文
セラミック基板の赤外線透過率が１０％以下と低いため、加熱面の温度を**サーモビュアにより正確に測定することができるホットプレートを提供する。例文帳に追加
To provide a hot plate in which the temperature on the heating face can be precisely measured by a thermo-viewer since the infrared transmittance of the ceramic substrate is as low as 10% or less. - 特許庁
測定には**サーモビュアカメラ（赤外線温度計）を使用することにより、前記吸着剤３に対して非接触で該吸着剤３の温度分布を測定することができる。例文帳に追加
The temperature distribution of the adsorbent 3 can be measured without contact with the adsorbent 3 by using a thermo-viewer (infrared thermometer) for measuring. - 特許庁
電極パターンの隠蔽性および**サーモビュアによる温度測定精度に優れる他、高温での体積抵抗率および熱伝導率にも優れ、かつ明度が低く、ホットプレート、静電チャック、ウエハプローバ、サセプタなどの基板として好適な半導体製造・検査装置用セラミック基板を提供すること。例文帳に追加
To provide the ceramic substrate for semiconductor manufacture/ detector of excellent electrode pattern embeddment and temperature measurement accuracy by thermo-viewer, excellent volume resistivity and heat conductivity at a high temperature and low lightness suitable as the substrate of a hot plate, an electrostatic chuck, a wafer prober and a susceptor. - 特許庁
高温時の体積抵抗率が少なくとも１０^8 Ω・ｃｍ以上を確保することができ、しかも、隠蔽性、大輻射熱量及び**サーモビュアによる測定精度を保証することができる窒化アルミニウム基板焼結体を提供すること。例文帳に追加
To obtain an aluminum nitride substrate sintered compact capable of securing at least ≥108Ω..cm volume resistivity at a high temperature and guaranteeing opacifying properties, a large irradiation calorie and measurement accuracy by a thermoviewer. - 特許庁
高温での体積抵抗率が高く、しかも、隠蔽性、大輻射熱量及び**サーモビュアによる測定精度を保証することができ、ホットプレート、静電チャック、ウエハプローバ、サセプタなどとして好適な半導体製造・検査装置用セラミック基板を提供すること。例文帳に追加
To provide a ceramic board for a semiconductor manufacturing and inspection unit which exhibits high volume resistivity at a high temperature and which can ensure concealability, a large amount of radiation heat and measurement accuracy by thermoviewer and is suitable for a hot plate, an electrostatic chuck, a wafer prober and a susceptor. - 特許庁
高温での体積抵抗率が高く、明度の低い焼結体が得られ、**サーモビュアによる正確な温度測定が可能であり、ホットプレート、静電チャック、ウエハプローバ、サセプタなどの基板として有用な窒化アルミニウム基板焼結体を提供すること。例文帳に追加
To obtain an aluminum nitride substrate sintered compact capable of providing a sintered compact having a high volume resistivity and a low lightness at high temperatures, enabling accurate temperature measurement with a thermoviewer and useful as a substrate for hot plates, electrostatic chucks, wafer probers, susceptors, or the like. - 特許庁
例文
高温時での体積抵抗率が少なくとも１０^8 Ω・ｃｍ以上で、しかも高温時の熱伝導率として６０Ｗ以上を確保することができ、更には隠蔽性、大輻射熱量、および、**サーモビュアによる測定精度を保証することができる窒化アルミニウム焼結体を提供すること。例文帳に追加
To obtain an aluminum nitride substrate sintered compact capble of securing at least ≥108Ω.cm volume resistivity at a high temperature and ≥60 W heat conductivity at a high temperature and guaranteeing opacifying properties, a large irradiation calorie and measurement accuracy by a thermoviewer. - 特許庁