Способ переработки кубовых остатков производства трихлорсилана и поликристаллического кремния на тетрахлорид кремния — SU 1369182 (original) (raw)
Описание
Способ переработки кубовых остатков производства трихлорсилана и поликристаллического кремния на тетрахлорид кремния, включающий испарение кубовых остатков, содержащих полисиланхлориды, при нагревании с одновременным хлорированием и последующую конденсацию полученных продуктов, отличающийся тем, что, с целью одновременного получения гексахлордисилоксана, хлорирование ведут при массовом соотношении хлора и полисиланхлоридов 0,05 - 0,2:1 и времени контакта компонентов 2 - 5 с.
Заявка
4008209/26, 08.01.1986
Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет"
Чапыгин А. М, Назаров Ю. Н, Старобина Т. М, Лозовацкий В. М, Аркадьев А. А, Кох А. А
МПК / Метки
МПК: C01B 33/08
Метки: кремния, кубовых, остатков, переработки, поликристаллического, производства, тетрахлорид, трихлорсилана
Опубликовано: 10.08.1999