Тетрахлорид — Метка (original) (raw)

Патенты с меткой «тетрахлорид»

Способ переработки кубовых остатков производства трихлорсилана и поликристаллического кремния на тетрахлорид кремния

Номер патента: 1369182

Опубликовано: 10.08.1999

Авторы: Аркадьев, Кох, Лозовацкий, Назаров, Старобина, Чапыгин

Метки: кремния, кубовых, остатков, переработки, поликристаллического, производства, тетрахлорид, трихлорсилана

Способ переработки кубовых остатков производства трихлорсилана и поликристаллического кремния на тетрахлорид кремния, включающий испарение кубовых остатков, содержащих полисиланхлориды, при нагревании с одновременным хлорированием и последующую конденсацию полученных продуктов, отличающийся тем, что, с целью одновременного получения гексахлордисилоксана, хлорирование ведут при массовом соотношении хлора и полисиланхлоридов 0,05 - 0,2:1 и времени контакта компонентов 2 - 5 с.