Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния — SU 1584309 (original) (raw)
Описание
1. Способ получения пленки из аморфного нитрида кремния, включающий взаимодействие тетраметилсилана и азотсодержащего компонента на нагретой подложке в среде газа-носителя, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости процесса, в качестве азотсодержащего компонента используют гидразин при молярном отношении тетраметилсилан/гидразин, равном 0,05-10, и исходной концентрации тетраметилсилана в газе-носителе, равной 0,01-10,0 об.%.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве газа-носителя используют водород и/или азот.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что подложку нагревают до 1000-1400oC.
Заявка
4298311/26, 26.08.1987
Институт структурной макрокинетики АН СССР
Варламов А. Г, Григорьев Ю. М, Мукасьян А. С, Самойленко Н. Г, Шульга Ю. М
МПК / Метки
МПК: C01B 21/068
Метки: аморфного, кремния, нитрида, пленки
Опубликовано: 27.08.2003