138789 — SU 138789 (original) (raw)
Текст
Перед нанесением родиевого покрытия поверхность кристалла карбида кремния, подлежащая покрытию, плифуется карбидом бора, промывается в плавиковой кислоте и после этого подвергается электролитическому родированию в ванне указанного состава. Нанесение родиевого покрытия проводится при катодной плотности токе 1 а/Лм 2 в течение 20 мин при температуре электролита 50 . В качестве материала анодов применяетсяоплатина.При проведении процесса родирования необходимо обеспечить нанесение радия тмько на требуемую часть кристалла. Поатощу для предотвращения смачивания электролитом непогружеяной части кристалла применяют принудительное обдуваниекристалла воздухом, подаваемым через сопка, Описанный способ родирования карбида кремния может бытьприменен для получения невыпрямляющих контактов, необходимых как при проведении измерений злектрсфизических параметров материалов, так и при конструировании полупроводниковых приборов на основе карбида кремния.ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯщ радСпособ родирования карбида кремния й.-типа, например,для получения невыпряилявщих контактов к этому полупроводнику из ванны, содержащей (в г/л): И,фО,910 - 50 при 50 плотности тока 1 а/пм в течеУние 20 мин.Редакторцпасана к печати ВАФД/.6 У, Заказ Я 105 Тираж 406 экз,оизаоцственно-полиграфическое предприятие "Патент",Бережковская наб.24
Заявка
668675
МПК / Метки
Метки: 138789
Опубликовано: 01.01.1961