287637 — Метка (original) (raw)

287637

Номер патента: 287637

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Гота, Джиничи, Иностранна, Морио, Шигетоси

Метки: 287637

...е р 1. Осажденце молцблецд.Испаряемсс вещество - пятцхлорцстый мслислец, нагретый ло 150 С. Температура цологревателя 700 С; темпсратура полложкц 400 С; расстояние межлу подогревателем и псллотккой 0,7 сл; скорость подачи водорода 1 1/зИн. Материал подложки - плавленый кварц, стекл сви;1 на 51 керамика, сапфир, русин, кварц, углерсл, каыенна 51 сс,1 ь.В этих условиях процсхолцт осджлецце пленки металлического молибдена, облдлающец характерным металлическим блеском, высокой плотностью ц прочностью алгезцц. Скорость осажлеция 100 Л/л 111 н.П р ц м с р 2. Осажлеццс вольфрама.Испарясмое вещество - шестцхлорцстый287637 Предмет изобретения Составитель Е. Кубасова Редактор Н, Л. Корченко Техред Л. В. Куклина Корректор Т. А. КитаеваЗаказ 13/48...