291251 — Метка (original) (raw)

291251

Номер патента: 291251

Опубликовано: 01.01.1971

Метки: 291251

...быть использованы в5 пленочных интегральных схемах, где трся элементы с большой величиной емкповышенным рабочим напряжением. чагае- значепроч- онко- буютти и Диэлек торов по 5 методом в своем таллов, о вышения прочност О окиси не ма (20 -пленочных конденсаи, изготавливаемых арения, содержащий редкоземельных меем, что, с целью пости и электрической , он состоит из смеси ) и окиси празеодия тонкоемкост ого исп окислы ийся т й емко саторов80 - 90% трик длстояннойвакуумнсоставетличающудельнои конденодима (10%). Известен способ изготовления тонкопленочных диэлектриков методом напыления в вакууме с использованием в качестве диэлектрика окислов редкоземельных элементов.Цель изобретения - повышение удельной емкости и электрической прочности...