Инверсионных — Метка (original) (raw)
Патенты с меткой «инверсионных»
Способ изготовления инверсионных фотопреобразователей
Номер патента: 1222152
Опубликовано: 27.02.1995
МПК: H01L 31/18
Метки: инверсионных, фотопреобразователей
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНВЕРСИОННЫХ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ, заключающийся в очистке кремниевой пластины, нанесении тыльного контакта при одновременном выращивании туннельно-тонкого диэлектрика, формировании контактной гребенки и нанесении диэлектрической пленки со встроенным зарядом, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности фотопреобразователя за счет увеличения средней величины встроенного заряда, диэлектрическую пленку создают путем термического напыления моноокиси кремния в атмосфере аммиака при давлении 1 10-4 - 3 10-4 Торр, при температуре подложки 0 -...